Контактное устройство для измерения удельного сопротивления

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (») 498572

Союз Советских

Социалистических

Республик з ос

Е1 с (61) Дополним оп,ное к авт, свид-ву 411389 (22) Заявлено 14.03.73 (21) 1893270/18-10 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 05.01.76. Бюллетень ¹" 1

Дата опубликования описания 24.03.76 (51) M. Кл з G 01R 27/00

Государственный Комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 621.317.73 (088.8) (72) Автор изобретения

В. А. Личагии (71) Заявитель (54) КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ

УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ

Изобретение относится к оборудованию радиоэлектронной промышленности. Оно может быть использовано при измерениях четырехзондовым методом удельного сопротивления тонких полупроводниковых слоев, однородных полупроводниковых материалов и тонких резистивных пленок, особенно в тех случаях, когда на измеряемой пластине необходимо одновременно разместить 5 — 10 и более четырехзондовых контактных устройств.

По основному авт. св. № 411389 известно контактное устройство для измерения удельного сопротивления тонких полупроводниковых слоев и металлических пленок, содержащее шариковые контакты, размещенные па лицевой стороне упругих полосок, закрепленных в корпусе. Это устройство обеспечивает качественное и точное контактирование, чаще всего при использовании его в «одноместных» четырехзондовых головках, т. е. головках, предназначенных для контактирования в одном месте или участке полупроводниковой пластины, имеющей например, десять мест для контроля. Однако последовательное измерение одной четырехзондовой головкой сопротивления во многих участках пластины требует значительных затрат времени на подъем головки над пластиной, перемещение пластины и опускание головки для контактирования, после чего выполняются электрические измерения.

Для повышения производительности при измерениях пластины на многих заданных участках целесообразно иметь соответствующее число одновременно контактирующих с пластиной головок. После контактирования электрические параметры могут быть определены последовательно на каждом участке быстродействующими электронными средствами.

Комплекс одновременно действующих четырехзондовых головок, контактирующих на большом числе участков данной пластины, можно назвать многоместным контактным устройством для измерения удельного сопротивления в разных участках пластины.

Создание такого многоместного контактного устройства — весьма перспективная научно-производственная задача.

Недостаток известного устройства состоит в том, что в одном из четырех направлений от контактов упругие полоски занимают значительную часть площади и пространства над измеряемой пластиной, почти целый квадрант координатной плоскости, что препятствует размещению в «многоместном» устройстве на обычной пластине кремния более двух «одиночных» контактных четырехзондовых устройств, расположенных одно за другим в полосе, перпендикулярной линии контактов.

Цель изобретения состоит в том, чтобы упругие полоски, выполняющие в известном устройстве одновременно функции держателей

498572

Составитель В. Скоробогатова

Техред М. Семенов Корректор Т. Гревцова

Редактор Т. Орловская

Заказ 431, 5 Изд. Ме 164 Тираж 1029 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий!

13035, Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4(5

Типография, пр. Сапунова, 2 контактов, токопроводов и упругих элементов для нажатия контактов, заменить такой конструкцией, при которой весь контактный узел с шариковыми контактами станет достаточно компактным, позволяющим разместить ряд четы рехзондовых устройств на измеряемой пластине в одной полосе, перпендикулярной линии контактов.

Поставленная цель достигается благодаря тому, что шариковые контакты расположены на токоведущих дорожках на лицевой стороне фольгированного диэлектрика, например, в виде пленки, упругие элементы выполнены в виде отрезков упругой нити, расположенных перекрестно над каждым контактом-шариком на обратной стороне фольгированного диэлектрика, а сверху перекрестий отрезков нити расположена плоскость жесткой корпусной детали. Отклонение от среднего значения расстояния от нижней точки любого шарикового контакта до верхней плоскости диэлектрика и отклонение от номинала толщины отрезков пити, по модулю, в сумме пе превышают половины линейного значения уменьшения деформации сжатия перекрестия двух отрезков нити, соответствующего уменьшению усилия нажатия контактов от номинала на величину допустимого отклонения усилия.

Изобретение поясняется чертежом.

В диэлектрическом фольгированном материале 1 на лицевой стороне выполнены токоведущие дорожки 2, на которых закреплены шариковые контакты 3. Над каждым контактом на обратной стороне диэлектрического материала расположено по короткому отрезку

4 резиновой нити. Над этими отрезками размещен один общий для четырех контактов более длинный отрезок резиновой нити 5, который совместно с отрезками 4 образует перекрестия упругой нити над каждым контактом.

Верхняя нить 5 размещена на нижней плоскости жесткой корпусной детали б.

Формула изобретения

Контактное устройство для измерения удельного сопротивления по авт, св. № 411389, отличающееся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей устройства, упругие элементы выполнены в виде перекрещивающихся отрезков эластичной нити, расположенных между корпусом и диэлектрическими пластинами.