Способ получения покрытий

(! i) 489727

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 23.11.73 (21) 1975454, 29-33 (51) М. Кл. С 03с 17!00 с присоединением заявки № 1975455/29-33

Государственный комитет

Совета Министров СССР (23) Приоритет

Опубликовано 30.10.75. Бюллетень № 40

Дата опубликования описания 31.03.76 (53) УДК 666.1.056 (088.8) ло делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

Б. П. Крыжановский и Б. М. Круглов (71) Заявитель

РЫТЙ(, (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОК

Изобретение относится к получению материалов с измененными оптическими и диэлектрическими свойствами, а именно к способу получения покрытий на диэлектриках.

Известный способ получения покрытий путем нанесения на подложку смеси окислов металлов не обеспечивает изменения оптических характеристик в широком диапазоне.

Цель изобретения — обеспечение изменения свойства материалов в широком диапазоне: повышение показателя преломления, обеспечение прозрачности в видимой и близкой инфракрасной областях спектра и проводимости.

Это достигается тем, что подложку с нанесенным на нее покрытием обрабатывают в атмосфере водорода, насыщенного парами селена или серы, при 500 — 1000 С.

Свойства покрытий определяются соотношением концентраций сульфида или селенида металлов и окислов в слое, которое может меняться в широких пределах.

Пример 1. Предлагаемым способом были получены на поверхности плавленного кварца покрытия состава: сульфид молибдена— двуокись кремния, сульфид вольфрама— двуокись кремния с содержанием двуокиси кремния 25 — 50 мол. Я,. Исходные слои смеси окислов были получены гидролизом смеси этилового эфира ортокремниевой кислоты и пятихлористого молибдена плп шестихлористого вольфрама, растворенных в спирте. Температура обработки в смеси водорода и паров серы 500 — 700 С. Полученные

5 покрытия толщиной 0,1 мкм прозрачны в области свыше 1 мкм и имеют показатель преломления в зависимости от состава от

1,45 до 3,0. Удельное поверхностное сопротивление покрытий лежит в пределах 10 — 10 .

10 Пример 2. Предлагаемым способом были получены на поверхности плавленного кварца покрытия состава: селенид молнбдена— двуокись кремния, селенид вольфрама — двуокись кремния с концентрацией селенида в

15 слое 50 — 80 мол. ",0. Исходный слой из окислов был получен гидролнзом смеси этилового эфира ортокремнпевой кислоты и IIHTI!xëîðèстого молибдена илп шестихлорнстого вольфрама, растворенных в этиловом спирте. Тем20 пература обработки в парах селена и водорода 600 †8 С. Полученные покрытия толщиной 0,1 мкм прозрачны в области спектра свыше 1 мкм и имеют показатель преломления 3. Удельная поверхностная проводимость

25 лежит в пределах 10 — — 10 — з ом — .

Предмет изобретения

Способ получения покрытий путем нанесения на подложку смеси окислов металлов, 30 отличающийся тем, что, с целью повы489727

Составитель И, Чернявская

Текред 3. Твраненко!

<,оррект<)р Е, Рожкова

Редактор Г. Яковлева

Заказ 556 13 Изд.,!<, а 1023 Тираж 559 Г!о.) иисное

Ш!1!И!!И Государствен)<ого комитета Совета М)шистров СССР ио делам ивоорстсиий и открыт <й

113035, Москва, Ж-";), Ра)ешская нас, д. 4,, 5

Тииосра<)и))), и;). C<)<)I иов;), 2 шения показателя преломления, обеспечения прозрачности в видимой и близкой инфракрасной областях спектра и проводимости, подложку с покрытием обр."батывают в BTмосфере водорода, насыщенного парами селена или серы, прн 500- — 1000"C.