Тонкопленочный конденсатор

!

ОП ИСФГей

ИЗОБРЕТЕН

479 I63

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТВЛЬ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 25.09.73 (21) 1963015

) М. Кл. Н Olg 1/13

Н Olg 3/06 с присоединением заявки №вЂ”

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изооретений н открытий (23) Приоритет—

Опубликовано 30.07.75. Бюллетен

Дата опубликования описания 10.03.

) УДК 621.396.6 (088.8) (72) Автор изобретения (71) Заявитель

А. T. Мельниченко

Ленинградский электротехнический институт связи им. проф. М. А. Бонч-Бруевича (54) ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ КОНДЕНСАТОР

2 верхняя обкладка 4. Вывод 5, являющийся продолжением верхней обкладки 4, несколько приподнят на опорах 6 над краем нижней обкладки и образует воздушньш зазор 7 меж5 ду верхней обкладкой 4 и контактной площадкой 8. На ступеньке нижней обкладки также имеется диэлектрик 3. Благодаря наличию диэлектрика 3 и воздушного зазора 7 увеличивается электрическая прочность конденсаи тора в месте перехода верхней обкладки в вывод со стороны края диэлектрика и нижней обкладки, 15

Тонкопленочный конденсатор, содержащий расположенные на подложке верхнюю и нижнюю обкладки с выводами, являющимися

2р продолжением обкладок, и однослойный диэлектрик, отличающийся тем, что, с целью увеличения электрической прочности конденсатора, верхняя обкладка в месте перехода ее в вывод, со стороны края диэлектрика и

25 нижней обкладки, выполнена в виде ступеньки с образованием воздушного зазора между обкладкой и подложкой.

Изобретение относится к области микроэлектроники и предназначено для использования в тонкопленочных гибридных и в совмещенных интегральных схемах.

Известен тонкопленочный конденсатор, содержащий расположенные на подложке верхнюю и нижнюю обкладки с выводами, являющимися продолжением оокладок, и однослойныйй диэлектрик.

Недостатком известного устройства является возможность электрического пробоя в месте перехода вывода над краем нижней обкладки.

Цель изобретения — увеличение электрической прочности конденсатора.

Это достигается тем, что верхняя обкладка в месте перехода ее в вывод, со стороны края диэлектрика и нижней обкладки, выполпена в виде ступеньки, с образованием воздушного зазора между обкладкой и подложкой, На чертеже изображено поперечное сечение описываемого конденсатора по выводу от верхней обкладки.

Тонкопленочный конденсатор содержит подложку 1, на которую нанесены последовательно нижняя обкладка 2, диэлектрик 3 и

Предмет изобретения

479163

Составитель Н. Блинкова

Техред Л. Казачкова

Редактор Г. Яковлева

Корректор Е Хмелева

МОТ, Загорский филиал

Заказ 7099 Изд. Pjî o 88 1 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5