Нагреватель для подогрева окисляемых в кислородной плпзме образцов

Авторы патента:

C23C13/12 - Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом (металлизация текстильных изделий D06M 11/83; декоративная обработка текстильных изделий местной металлизацией D06Q 1/04); химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще (для специфических целей см. соответствующие классы, например для производства резисторов H01C 17/06); способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще (обработка металлических поверхностей или покрытие металлов электролитическим способом или способом электрофореза C25D,C25F)

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ (t i) 47889

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 31.05.73 (21) 1929489/26-21 (51) М. Кл. С 23с 13/12 с присоединением заявки №

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Опубликовано 30.07,75. Бюллетень № 28

Дата опубликования описания 10.10.75 (53) УДК 621.365.4 (088.8) (72) Авторы изобретения

В, А. Сычик и А. В. Николаев (71) Заявитель

Минское производственно-техническое объединение «Горизонт» (54) НАГРЕВАТЕЛЬ ДЛЯ ПОДОГРЕВА ОКИСЛЯЕМЫХ

В КИСЛОРОДНОЙ ПЛАЗМЕ ОБРАЗЦОВ

Государственный комитет (23) П

Приоритет

Изобретение относится к тонкопленочной микроэлектронике.

Известен нагреватель для подогрева окисляемых в кислородной плазме образцов, содержащий столик с нагревательным элементом.

Однако известный нагреватель имеет низкую равномерность нагрева окисляемых образцов.

Цель изобретения вЂ” повышение равномерности нагрева окисляемых образцов.

Для этого нагревательный элемент выполнен в виде расположенной внутри столика, герметически закрытой и электрически изолированной от столика пластины, причем столик выполнен из неокисляемого термостойкого материала, например, из нержавеющей стали.

На чертеже показан предлагаемый нагреватель, Предлагаемый нагреватель содержит корпус

1 столика, диэлектрические прокладки 2, нагревательный элемент 3, крышку 4 столика и вакуумный токоввод 5.

Корпус 1 столика выполнен из теплопроводящего неокисляемого и термостойкого материала, например из нержавеющей стали. Нагревательный элемент выполнен из тугоплавкого металла (вольфрам, молибден и т. д.) плоской формы и размещен в выфрезерованном окне корпуса столика, причем одной стороной он жестко соединен с корпусом столика, а другой вЂ” с вакуумным токовводом 5. Вакуумный токоввод 5 выполнен по стандартной технологии и жестко закреплен на крышке 4

5 столика. Вторым токовводом является контакт поверхности столика с корпусом установки, Крышка 4 столика вакуумно плотно соединена с его корпусом 1 с помощью вакуумного уплотнения вЂ” металлической прокладки 6.

10 Диэлектрические прокладки 2, служащие для предотвращения короткого замыкания нагревательного элемента и максимальной передачи от него тепла на стенки корпуса, изготовлены из тугоплавкого вакуумного и теплопро15 водящего диэлектрика (например, окисноберрилиевой керамики).

С целью осуществления процесса получения необходимой окисной пленки диэлектрическая подложка 7 с нанесенным слоем окисляемого

20 вещества 8 жестко закрепляется на столике и подводится к окну плазменного генератора 9.

Процесс подогрева образцов осуществляется следующим образом.

В момент достижения оптимальной толщи25 ны окисной пленки в кислородной плазме осуществляется нагрев подложки с целью обеспечения дальнейшего роста окисла в процессе подачи на нагревательный элемент электрического напряжения. В начальный момент про30 цесса окисления используются токи высокой

478893

Предмет изобретения /ислоро

Составитель Л. Слащинина

Техред 3. Тараненко

1(орректор E. Рогайлина

Редактор В. Булдаков

Заказ 2503/13 Изд. № 1681 Тираж 966 Подписное

ЦИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 плотности, в результате чего происходит скоростной нагрев столика, поскольку выделяемая тепловая энергия расходуется только íà его нагрев, причем поверхность столика равномерно нагревается по всей плоскости соприкосновения с подложкой благодаря высокой теплопроводности диэлектрических прокладок 2 и минимальному объему, занимаемому плоским нагревателем внутри столика.

После достижения необходимой температуры расход электроэнергии снижается в связи с уменьшением плотности тока нагревателя до значения, требуемого для поддержания оптимальной температуры подложки.

Нагреватель для подогрева окисляемых в кислородной плазме образцов, содержащий

5 столик с нагревательным элементом, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения равномерности нагрева окисляемых образцов, нагревательный элемент выполнен в виде расположенной внутри столика, герметически за10 крытой и электрически изолированной от столика пластины, причем столик выполнен из неокисляемого термостойкого материала, например из нержавеющей стали.