Способ измерения температуры поверхности подложки в процессе вакуумного напыления тонких пленок
ОПИСАНИЕ 47УЗГ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
А@И Совотвнни
Союионистическик
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (51) М. Кл. G 01k 17/06
С 23с 13/00 (22) Заявлено 03.05.73 (21) 1913392/26-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет
Опубликовано 15.07.75. Бюллетень № 26
Дата опубликования описания 09.10.75
Государственный комитет
Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 621.382.002 (088.8) (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ
ПОДЛО)ККИ В ПРОЦЕССЕ ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ
ТОНКИХ ПЛЕНОК
Изобретение относится к микроэлектронике.
Известен способ измерения температуры поверхности подложки в процессе вакуумного напыления тонких пленок, основанный на периодическом нанесении на подложку парообразного теплоносителя. Однако этот способ имеет большую погрешность измерения.
В целях повышения точности измерения по предлагаемому способу один конец подложки нагревают до температуры испарения напыляемого вещества, а другой ее конец — до температуры в два раза меньшей, затем производят три последовательных напыления с заданной плотностью парообразного теплового носителя с определением после каждого напыления положения границы пленки и чистой поверхности подложки.
Измерение температуры подложки производят следующим образом.
На исследуемую подложку напыляют в виде тонкой пленки парообразный теплоноситель, зависимость скорости С осаждения атомов которого от температуры поверхностного слоя подложки имеет вид
С = Аехр где А и  — коэффициенты, зависящие от температуры подложки и условий измерения, T„1, — критическая температура, выше которой прекращается конденсация атомов теплоносителя на поверхности подложки вследствие испарения напыляемого вещества. Посредством нагревания одного из концов подложки до температуры Т„р, а другого конца до температуры вдвое меньшей, на всей длине
1 подложки поддерживают одинаковый градиент температуры, в результате часть поверхностного слоя подложки, нагреваемая до10 полнительно тепловым потоком теплоносителя на температуру AT, имеет температуру, превышающую Т„.р, и не покрывается тонкой пленкой. Визуально различимая граница пленки, находящаяся на расстоянии Х от более горячего края подложки, имеет температуру, равную сумме величин температуры AT и температуры Т„массивного тела подложки, зависящей от расстояния Х по закону
0,5Т,@(2à — Х)
20 причем эта сумма равна температуре Т„р.
Для исключения трудноопределимых величин А, В и С производят последовательное нанесение трех тонких пленок с заданной плотностью соответственно П, П,)П, парообразного теплоносителя. После каждого напыления измеряют положение соответствующих границ Хь Хз, Хз, вычисляют соответст30 вующие им значения температур Т„„Т„ и
477317
Предмет изобретения
Составитель А. Степанов
Текред 3. Таранснко
Редактор Т. Юрчикова
Корректоры: Т. Добровольская и Т. Гревцова
Заказ 2345/1 Изд. № 1633 Тираж 740 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, УК-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Т„, по приведенной выше формуле и, определив соответствующий упомянутым плотностям теплоносителя дополнительный нагрев ХТ, вычисляют температуру поверхностного слоя подложки.
Способ измерения температуры поверхности подложки в процессе вакуумного напыления тонких пленок, основанный на периодическом нанесении на подложку парообразного теплоносителя, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, один конец подложки нагревают до температуры
5 испарения напыляемого вещества, а другой ее конец — до температуры в два раза меньшей, затем производят три последовательных напыления с заданной плотностью парообразного теплового носителя с определением пос10 ле каждого напыления положения границы пленки и чистой поверхности подложки,
