Устройство для паровакуумной обработки

ОП ИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

1!!1476728

Союз Советских

Социалистических

Республик

К ПАТЕНТУ (61) Зависимый от патента— (22) Заявлено 22.03.73 (21) 1900080/23-26 (32) Приоритет — (31) (51) М. Кл. В 01j 1/00

Н Olj 37/26

Государственный комитет

Совета Министров СССР (33) Опубликовано 05.07.75. Бюллетень ¹ 25

Дата опубликования описания 05.04.76 (53) УДК 621.385.833. .2 (088.8) по делам изобретений и открытнЙ (72) Авторы изобретения и (71) Заявители

Иностранцы

Хервиг Хорн и Адольф Алдриан (Австрия) (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПАРОВАКУУМНОЙ ОБРАБОТКИ

Изобретение относится к устройствам для обработки паром различных материалов в условиях высокого вакуума при пониженной тепловой нагрузке на обрабатываемый материал и может быть использовано в установках электронной микроскопии.

Известно устройство для паровакуумной обработки, содержащее корпус, источник пара, диафрагмы, выполненные в виде пластин, вращающуюся бленду со шлицами, выполненными по ее периферии, устройства для вращения бленды и обрабатываемого материала и патрубок для подсоединения устройства к вакуумной системе. Однако использование такого устройства в вакууме (скорость вращения бленды порядка 50000 об! Иин) вызывает соответствующие монтажные и эксплуатационные трудности.

Цель изобретения — осуществление процессов в высоком вакууме при пониженной тепловой нагрузке на обрабатываемый материал. Эта цель достигается тем, что шлпцы выполнены в виде винтовых поверхностей.

На фиг. 1 изображен общий вид устройства, продольный разрез; на фиг. 2 — бленда, горизонтальная проекция; на фиг. 3 — бленда, вертикальная проекция.

Устройство состоит из корпуса 1, источника пара 2, неподвижных диафрагм ? и 4, выполненных в виде пл астин, вращающейся бленды 5 со шлнцамп б, расположенными по ее периферии и выполненными в виде винтовых поверхностей. Бленда приводится во вращение электромотором 7. Напротив диафрагм

5 на пластине 8 электропривода 9 установлен обрабатываемый материал 10, на который направлена сфокусированная струя пара. Корпус устройства снабжен патрубком 11, подсоединяющим его к вакуумной системе (на фиг.

10 не епоказана).

Испускаемая из источника пара 2 паровая струя диафрагмируется пластинами диафрагм

3 и 4 на нужное поперечное сечение (II; поверхность материала 10). Между диафрагма1s м1i вращается бленда 5 со шлицами б по периферии. Геометрия шлицов б выбрана так, что в области днафрагмнрованной паровой струи нет непосредстве!шой проницаемости мсжду источником пара 2 и материалом 10. Располо20 женные на окружности бленды 5 шлццы б представляют собой винтовые поверхности с углом подъема а. Они образуют в1штообразные каналы для прохода паровой струи. Окружная cKopocTb 0? Ill 1IIUoB б определяется углом а, а также средней скоростью v паровой струи. Угол а в свою очередь, является функцией величин А, В, Е, С, h, d, /г, l из условия оптической проницаемости, где

v — средняя скорость паровой струи, d — диаметр бленды, А — число оборотов бленды, 476728 струи должен (О

l — расстояние между шлицами (деление),  — ширина диафрагмы перед источником пара, А — ширина диафрагмы перед материалом, С вЂ” толщина шлицов, h — высота бленды, Š— глубина шлицов.

Для проходящей паровой быть

4 бО <о 60 vtgz

1г = — -- = - — — — — = 25о

d d

Применяемые паровые струи имеют скорости между 100 и 1000 м/сек, следовательно, получаются числа оборотов между 2500 и

25000 в иия. Такие скорости легко и просто реализуются в условиях высокого вакуума.

Предмет изобретения

Отсюда требующаяся окружная скорость (0 =VtgQ

Тогда число оборотов бленды

Если принять для конкретного случая

0,2 и а=0,15, то получится:

Устройство для паровакуумной обработки, содержащее корпус, источник пара, диафраг15 мы, выполненные в виде пластин, вращающуюся бленду со шлицами, выполненными по ее периферии, устройства для вращения бленды и обрабатываемого материала и патрубок для подсоединения устройства к вакуумной системе, отличающееся тем, что, с целью осуществления процессов в высоком вакууме при пониженной тепловой нагрузке на обрабатываемый материал, шлицы выполнены в виде винтовых поверхностей.

476728

1 !

Риг 2

Составитель А. Тарасов

Текред Т. Курилко

Рсдактор H. Вирко

Корректор В. Гутман

Тпп. Харьк. фил. пред. «Патент»

Заказ 174/336 Изд. № 4 Тираж 782 По писное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по дечам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5