Способ получения тонких пленок для пьезопреобразователей

 

СПОСОБ ПОЛУЧЕНР1Я ТОНКИХ ПЛЕНОК ДЛЯ ПЬЕЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ, например, из порошка окиси цинка, основанный на нанесении пленки с текстурой на нейтральную основу с помощью электронного пучка, отличающийся тем, что, с цельюгосуществления возможнЬсти получения требуемой ориентации оси текстуры, первоначально из порошка окиси цинка формуют цилиндрический стержень, который далее обжигают во внешней среде при температуре, не превышающей 1000°С, после чего его помещают в вакуумную камеру и обрабатьгоаю.т; электронным пучком током 100-120 мА, •полученным при ускоряющем напряжении 400-500 В, до температуры возгонки окиси, цинка, при этом скорость нанесения пленки на основу выбирают в пределах 1-5 А/с.4:^

„„ЯО„„4640 1

g g Н 04 R 31/00

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 1910561/18-10 (22) 28.04.73 (46) 23.04.84. Бюл. Ф 15 (72) А.Н.Чернец и Н.Л.Кенигсберг (71) Институт радиофизики и электроники АН Украинской ССР (53) 621.372.852.5:537.228.1 (088.8) (54)(57) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ

ПЛЕНОК ДЛЯ ПЬЕЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ, например, из порошка окиси цинка, основанный на нанесении пленки с текстурой на нейтральную основу с помощью электронного пучка, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью,осуществления возможности получения требуемой ориентации оси текстуры, первоначально из порошка окиси цинка формуют цилиндрический стержень, который далее обжигают во внешней среде при температуре, не превышающей 1000 С, после чего его помешают о в вакуумную камеру и обрабатывают электронным пучком током 100-120 мА, полученным при ускоряющем напряжении 400-500 В, до температуры возгонки окиси, цинка, при этом скорость нанесения пленки на основу выбирают в пределах 1-5 А/с.

Редактор Л.Письман Техред В.Далекорей

Корректор М.йароши

Заказ 2487/6 Тираж 635

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

1 4640

Изобретение относится к области приборостроения и радиотехники и может быть использовано при необходимости получения тонких пленок с . требуемой ориентацией оси текстуры..

Для осуществления преобразования (. высоких частот в более низкие, при котором оказывается возможным .в твердом теле возбудить акустические колебания, используют пьезопреобразователь из тонких пленок, в том числе и из окиси цинка °

Пленки из этого материала имеют текстуру, ось которой практически не сориентирована. Это вызывает снижение достоверности в преобразовываемом сигнале, а также приводит к малой эффективности самого процесса

У преобразования.

Для осуществления возможности получения требуемой ориентации оси текстуры и повышения эффективности преобразования сигнала по предлагае- мому способу первоначально из порошка окиси цинка формуют цилиндрический стержень, который далее обжигают во внешней среде при температуре, не превышающей 1000 С, после чего

его. помещают в вакуумную камеру и обрабатывают электронным пучком то- 30 ком 100-120 мА, полученным при ускоряющем напряжении 400-500 В, до температуры возгонки окиси цинка, при этом скорость нанесения пленки на основу выбирают в пределах 1-5 А/с °

На чертеже показана схема реализующая предлагаемый способ.

При осуществлении нанесения на электрически нейтральную основу 1 слоя 2 окиси цинка стержень 3 цилинд.

40 рической формы, сформованный из порошка окиси цинка, устанавливают

81 1 на вольфрамовой подложке 4, закрепляемой на плите 5. Плиту помещают в вакуумную камеру 6. Сформованный ., стержень в момент работы всей уста ндвки является анодом. Вокруг его

М верхней части расположен катод 7, "4ыполненный, например, в виде кольца из вольфрама. Катод и анод в вакуумной камере окружены фокусирующим водоохлаждающим экраном 8.

Предварительно перед помещением сформованного стержня 3 в вакуумную камеру его обжигают во внешней среде, т.е. на открытом воздухе при температуре, не превышающей 1000 С. При помещении стержня из окиси цинка в вакуумную камеру запускают электронную установку, и электронный луч начинает бомбардировать торцовую поверхность 9 стержня, нагревая тем самым лишь верхний его слой. При этом нагрев производится до температуры, при которой получается возгонка окиси цинка.

Расстояние между стержнем — анодом и катодом выбирают в пределах

2-3 мм, вследствие чего оказывается возможным осуществление нагрева при ускоряющем напряжении всего в 400500 В при токе пучка в 100-200 мА.

T.е. при реализации предлагаемого способа отпадает необходимость в создании новых специальных установок, что не только упрощает сам процесс реализации, но и делает его экономически эффективным. Последнее следу. ет также и из того, что скорость нанесения пленки составляет 1-5 3I/ñ.

Располагая под выбранным углом основу, мажно получить требуемую ориентацию оси текстуры пленки.