Вакуумная установка

.c,.. г .=„ --- лцх :- -::;.

ОП ИСАНИ

ИЗОБРЕТЕН И г.463803

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 06.09.72 (21) 1829586/24-6 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет—

Опубликовано 15.03.75. Бюллетень ¹ 10

Дата опубликования описания 03.10.75

1) М. Кл. F 04Ь 37 02

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР оо делам иэобретеннй и открытии

3) УДК 621.528.3 (088.8) (72) Авторы ггзоо))стен!гя

И. М. Шухмаи и Е. Н, Скогорев (г1) Заявитель (54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к вакуумным установкам, в которых в качестве откачных средств применены адсорбционные насосы.

Известны вакуумные установки, содержащие ряд подключенных к реципиенту адсорбционных насосов.

Однако в известных установках насосы соединены с реципиентом посредством трубопроводов и вентилей, и корпусы всех насосов воспринимают атмосферное давление. Это тгрийодит к ограничению скорости откачки насосов и повышению натекания в установку.

В предлагаемой установке реципиент помещается под рядом колпаков, в промежутках между которыми устанавливают охлаждасмые адсорбционные насосы.

На чертеже представлена вакуумная установка, продольный разрез.

Реципиент 1 расположен под рядом колпаков 2, 3 и 4, между которыми установлены охлаждаемые адсорбционные насосы 5, 6 и 7.

Подача хладагента в насосы и перемещение колпаков производится с помощью распределительно-подъемного устройства 8.

Процесс откачки реципиента осуществляется следующим образом.

На плиту 9 опускается колпак 2 вместе с распределительно-подъемным механизмом, н стык уплотняется с помощью прокладки 10.

Все внутренние колпаки находятся в верхнем поло>кении. В насос 5 подается хладагент, и в установке достигается предельный вакуум этого насоса. Затем опускается колпак 3, и захолаживается насос 6. По достижении им предельного вакуума аналогичным образом запускается насос 7, и реципиент 1 откачивается до предельного вакуума.

Предмет изобретения

1ь

1. Вакуумная установка, содержащая подключенные к реципиенту адсорбционные насосы, от.гичающаяся тем, что, с целью уменьшения натекания и увеличения скорости откач20 ки, насосы установлены один в другом и разделены колпаками, а рециппент размещен внутри наименьшего насоса.

2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что насосы снабжены распределительно-подъем25 ным механизмом для подачи в насосы хладагента и перемещения колпаков.

463803

Составитель Н. Юшин

Техред О. Гуменюк

Редактор Э. Шибаева

Корректор Л. Брахнина

Заказ 3061

Изд. № 1241 Тираж 740

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )K-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Обл. тип, Костромского управления издательств, полиграфии и книжной торговли