Датчик толщины пленок

ОЛИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ пп 4S2979

Союз Соввтсхих

Социалистнчесхих

Ргспублнх (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 29.06.73 (21) 1935802/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 05.03.75. Бюллетень № 9

Дата опубликования описания 11.07.75 (51) М. Кл. G Olb 7/06

Государственны» хан»тат

Совета Министров СССР ов делам изобретений н открытий (53) УДК 531,717.11 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. Д. Олешкевич, А. С. Буйлин и А. П. фомин (71) Заявитель (54) ДАТЧИК ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК

D — o6 и — )12

L (1 — 12; — î o6, L, D

Изобретение относится к средствам электронной размерометрии и может быть использовано для активного контроля толстопленочных покрытий.

Известен датчик толщины пленок, содержащий кварцевый резонатор и диафрагму. Однако конструкция диафрагмы относительно сложная, так как при активном контроле толстопленочных покрытий она выполняется в виде нескольких последовательно установленных пластин с отверстиями по их периферии.

Целью данного изобретения является упрощение конструкции датчика, для чего диафрагма выполнена в виде объемного тела, например полого усеченного конуса с торцевыми донышками, имеющими отверстия, а размеры конуса выбраны в соответствии с соотношениями где L — высота конуса;

D — диаметр большего основания;

d — диаметр отверстия в донышке, На чертеже схематично изображен датчик толщины пленок.

«Свидетель» 1 (кварцевый резонатор) закреплен на верхней торцовой стенке конуса 2.

Металлический полый конус 2 выполнен так, что торцовая стенка, на которой закреплен

«свидетель», имеет диаметр D=48 мм, а отверстие в противоположной стенке имеет диаметр d=8 мм. Высота усеченного конуса

1=96 мм. Толщина торцовых и боковых стенок не более 2 мм.

Отверстие, расположенное в торцовой стенке, прилегающей к «свидетелю», соосно с его электродами, а диаметр его равен диаметру электрода. Размеры элементов конуса D, d u

L должны быть таковы, чтобы исключалось окисление частиц пара внутри конуса и искажение полета их траектории.

Размеры конуса выбирают в соответствии с

15 соотношениями

Коэффициент экранировки К определяется

20 L по отношению —. Однако для исключения

D конструктивных погрешностей и погрешностей установки датчика значение коэффициента К следует уточнять экспериментально.

Предмет изобретения

Датчик толщины пленок, содержащий кварцевый резонатор и диафрагму, о т л и ч а ю30 щи и с я тем, что, целью упрощения конструкции при и" ïîëüçîâàíèè его для контроля толстослойных пленок в процессе напыления, диафрагма выполнена в виде объемного тела, например полого усеченного конуса с торцовыми донышками, имеющими отверстия, а размеры конуса выбраны в соответствии с соотношениями — 12; — 6, L D

И где L — высота конуса;

D — диаметр большего основания;

d — диаметр отверстия в торцовом донышке.

Составитель А. Духанин

Редактор В. Смирягина Техред М. Семенов Корректор Л. Денисова

Заказ !559/3 Изд. Мз 647 Тираж 782 Подписное!

1ИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, РК-З5, Раушская паб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2