Способ изготовления мембран малогабаритных планарно- эпитаксиальных преобразователей давления

J ,!

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ (ii) 45872I

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 05.04.73 (21) 1903817/18-10 с присоединением заявки Ке (32) Приоритет

Опубликовано 30.01.75. Бюллетень Ке 4

Дата опубликования описания 04.03.75 (51) М. Кл. G 011 7/06

G 01L 9/10

G 01L 19/06

Государственный комитет

Совета Министров СССР ио делам изобретений и открытий (53) УДК 531.787(088.8) (72) Авторы изобретения

И. В. Игнатьев, Л. М. Князькова и И. И. Кривоносов (71) Заявитель (54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к контрольно-измерительной области техники, а именно к высо,котемпературным датчикам давления.

Известные датчики давления, содержащие корпус со штуцерам, сильфон с внутренним ограничителем, пружину и электромеханический преобразователь, недостаточно точны и надежны прои измерении давлений жидких агрессивных сред.

11ель изобретения — повышение точносги и надежности при измерениями давления жидких агрессивных сред.

Это достигается тем, что в предлагаемом датчике давления часть подводящего штуцера, размещенная внутри сильфона, снабжена нагревателем, изолированным от полости сильфона при. помощи кожуха. В основании штуцера под нагревателем выполнены радиальные каналы, сообщающие полость сильфона с измеренной средой.

На чертеже показан предлагаемый датчик.

Датчик содержит корпус 1 со штуцером 2, сильфон 3, пружину 4, электромеханический преобразователь 5 и нагреватель б, например, электрический.

Нагреватель изолирован от,внутренней полости 7 сильфона кожухом 8. В основани|и 9 штуцера выполнены радиальные каналы 10.

Нагреватель служит одновременно ограничителем хода сильфона, Работа датчика заключается в преобразовании давления жидкой ил и газообразной агрессивной высокотемпературной среды в электрический выходной сигнал с помощью сильфона

3, пружины 4 и электромеханического преобразователя 5. Измеряемая среда поступает через штуцер 2 в полость 7 по части 11 штуцера и по каналам 10.

Рабочее тело — измеряемая среда нагрева10 ется нагревателем. Нагреватель и система каналов позволяют равномерно нагревать рабочее тело с малыми потерями тепла в окружающую среду и обеспечивать слив рабочего тела из полости 7 через каналы 10. Этим обеспе15 чивается ослабление процесса шлакообразования, повышается точность и надежность измерений, расширяется температурный диапазон работы.

20 Предмет изобретения

Датчик давления, содержащий размещенный внутри корпуса сильфон-шток, пружину, электромеханический преобразователь н под25 водящий штуцер с основанием, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности и надежности при измерении давления жидких агрессивных сред, в нем часть подводящего штуцера, размещенная внутри силь30 фона, снабжена нагревателем, изолированным

458721

Составитель О. Полев

Редактор Т. Рыбалова

Техред Т. Миронова

Корректор Е. Кашина

Заказ 450/1 Изд. № 1056 Тираж 902 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр., Сапунова, 2 от полости сильфона при помощи кожуха, при этом в основании штуцера под нагревателем

8 выполнены радиальные каналы, сообщающие полость сильфона с измеренной средой.