Способ сканирования светового луча

Авторы патента:

ПЕВНЕВ АЛЕКСЕЙ ИВАНОВИЧ

ЧЕХ ВИТАЛИЙ МЕРКУРЬЕВИЧ

ПИРЛИК ВАДИМ АЛЕКСАНДРОВИЧ

H01J37/22 - оптические или фотографические устройства, конструктивно сопряженные с прибором

i) 4580 58

ОПИС

ИЗОБРЕ

К АВТОРСКОМУ

Союз Советских

Саыиалистическик

Республик (61) Дополнительное к (22) Заявлено 29.03.73 ( с присоединением (32) Приоритет

Опубликовано 25.01.75;

Дата опубликования оп

1) М. Кл. Н Olj 37/22

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

3) УДК 535.2.224:

: 623.3.032.26 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. И. Певнев, В. М. Чех и В. А. Пирлик (71) Заявитель (54) СПОСОБ СКАНИРОВАНИЯ СВЕТОВОГО ЛУЧА

Изобретение относится к оптике, в частности к способам у п|равления движением светового луча.

Известны способы сканирования светового луча (его развертки в растр), включающие приведение во вращение двух многогранных зеркал, каждое из которых разворачивает отраженный от него луч в одном направлении, а в результате совместного действия обоих зеркал луч разворачивается по строкам и кадрам, т. е. в прямоугольный растр.

Однако известными механическими и электрическими средствами трудно осуществить точную регулировку скорости вращения зеркал.

Цель изобретения вЂ” обеспечить регулировку скорости вращения зеркал.

Для этого на грани зеркал воздействуют потоками быстрых частиц, например электронов или фотонов.

В качестве источников электронов могут служить электронные пушки (при этом все устройство помещается в вакуумную камеру), а в качестве источника фотонов вЂ” лазер. На грани каждого из зеркал направляют два потока частиц, каждый из которых при ударе частиц о грань сообщает зеркалу момент вращения в направлении, противоположном моменту вращения, сообщаемому другим лучом.

5 Зеркала приводят во вращение одним из известных способов (например, с помощью электромагнитного поля) и лишь тонкую регулировку скорости их вращения осуществляют по предлагаемому способу.

10 Применение предлагаемого способа позволяет увеличить угол отклонения луча и повысить линейность растра вдоль строк и кадров.

Предмет изобретения

Способ сканирования светового луча путем его развертки с помощью двух вращающихся многогранных зеркал, отличающийся тем, что, с целью обеспечения регулировки

20 скорости вращения зеркал, на каждое зеркало воздействуют двумя потоками быстрых частиц, например электронов, каждый из которых сообщает зеркалу момент вращения в направлении, противоположном моменту вра25 щения, сообщаемому другим лучом.

Устройство для фотографирования осциллографического изображения // 31506

Электронно-лучевая трубка высокого разрешения // 918994

Растровый электронный микроскоп // 1153370

Фотокамера для электронного микроскопа // 1406662

Способ определения расстояния между двумя составляющими лучами в устройстве экспонирования с множеством составляющих лучей // 2576018

Изобретение относится к способу определения расстояния между двумя составляющими лучами заряженных частиц в устройстве экспонирования с множеством составляющих лучей. В устройстве предусмотрен датчик, содержащий преобразовательный элемент (1), предназначенный для преобразования энергии заряженных частиц (2) в свет (3), и светочувствительный детектор (5). В преобразовательном элементе предусмотрена область поверхности датчика, в которой предусмотрен двумерный рисунок блокирующих (8) и неблокирующих областей (7) для составляющего луча. Способ содержит этапы, на которых: сканируют первым составляющим лучом двумерный рисунок, принимают свет, генерируемый преобразовательным элементом в ответ на заряженные частицы, составляющие часть первого составляющего луча, переданного через двумерный рисунок, и преобразуют принятый свет в первый сигнал с использованием светочувствительного детектора. Затем двумерный рисунок и первый составляющий луч перемещают относительно друг друга на заданное расстояние. После этого сканируют вторым составляющим лучом двумерный рисунок, принимают свет, генерируемый преобразовательным элементом в ответ на заряженные частицы, составляющие часть второго составляющего луча, переданные через двумерный рисунок, и преобразуют принятый свет во второй сигнал посредством светочувствительного детектора. Расстояние между первым составляющим лучом и вторым составляющим лучом определяют на основе первого сигнала, второго сигнала и заданного расстояния. Технический результат - повышение точности определения положения составляющего луча. 4 н. и 23 з.п. ф-лы, 12 ил.