Электронная пушка

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (и) 456324

Со)оа Советских.Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 04.06.73 (21) 1925102/26-25 (51) М. Кл. Н Olj 37!06 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 05.01.75. Бюллетень № 1

Дата опубликования описания 06.03.75

Государственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 621.385.833 (088.8) (72) Авторы изобретения

П. А. Стоянов, И. Ф. Анаскин и Д. Д. Тихонов (71) Заявитель (54) ЭЛЕКТРОННАЯ ПУШКА

Изобретение относится к электронным пушкам электронно-оптических устройств и может быть использовано в электронных микроскопах с автоэлектродными катодами.

Известна электронная пушка для электронного микроскопа с автоэмиссионным катодом, системой электродов, высоковольтным изолятором и магнитным экраном. Высокий вакуум в области катода (10 — о — 10 о мм рт. ст.), необходимьш для работы пушки, создается сверхвакуумными насосами.

Однако в известной конструкции скорость откачки мала, так как магнитный экран ограничивает эффективное сечение откачки. Для достижения сверхвысокого вакуума в таких системах необходим предварительный прогрев пушки и насоса, что увеличивает время откачки.

Целью изобретения является создание электронной пушки с высокой скоростью откачки и эффективной магнитной экранировкой.

Поставленная цель достигается благодаря тому, что внутри пушки установлен заполненный жидким гелием сосуд со сквозной центральной полостью, в которой размещена система электродов, и магнитным экраном, находящимся в тепловом контакте с сосудом и выполненным из сверхпроводящего или ферромагнитного материала.

Такая конструкция позволяет в непрогреваемой системе резко повысить скорость откачки пушки и быстро (через 1 час) достигнуть сверхвысокого вакуума с сохранением

5 эффективной магнитной экранировки.

Пприменение сверхпроводника типа свинца в качестве материала экрана позволяет обеспечить защиту от рентгеновского излучения, что важно для пушек, работающих при напря10 жениях 5 — 100 кв и выше.

На чертеже показана предложенная электронная пушка, продольный разрез.

Электронная пушка содержит электроды 1, 15 2, автоэлектронный катод 3, высоковольтный изолятор 4, сосуд 5, заполненный жидким гелием; сосуд 6 с жидким азотом; тепловой экран 7, жалюзи 8, тонкостенные трубки 9, 10 для укрепления сосудов и заливки гелия и

20 азота; магнитный экран 11, высоковольтный кабель 12 и диафрагму 13.

Пушка работает следующим образом.

После откачки объема пушки до форвакуу25 ма в сосуд 5 заливают жидкий гелий. Стенки сосуда охлаждают до температуры жидкого гелия и становятся эффективным конденсационным высокопроизводительным насосом.

Залитый в сосуд 6 жидкий азот охлаждает

30 экран 7 и жалюзи 8, которые защищают сосуд с гелием от теплового излучения электродов и других узлов, находящихся при комнатной температуре. Экран 11, выполненный из сверхпроводящего материала, например свинца, достаточной толщины и расположенный в сосуде с гелием, обеспечивает почти идеальную экранировку как от внешних магнитных полей, так и от рентгеновского излучения.

После достижения вакуума 10 — а — 10 — о мм рт. ст. на электроды подается напряжение по высоковольтному кабелю 12. Объем пушки отделен от остальной части колонны микроскопа (в которой поддерживается вакуум

10 — — 10 — мм рт. ст.) с помощью диафрагмы

13, обеспечивающей перепад давлений (дифференциальная откачка) .

456324

Предмет изобретения

Электронная пушка для электронно-оптического устройства, например электронного мик5 роскопа, содержащая автоэлектронный катод, систему электродов, высоковольтный изолятор и магнитный экран, отл и ч а юща яся тем, что, с целью повышения скорости откачки при сверхвысоком вакууме с сохранением эффек10 тивной магнитной экранировки, внутри пушки установлен заполненный жидким гелием сосуд со сквозной центральной полостью, в которой размещена система электродов, и с находящимся в сосуде или в тепловом контакте с ним магнитным экраном, выполненным из сверхпроводящего или ферромагнитного материала.

Заказ 435/6

Изд. № 323 Тираж 833

Типография, пр. Сапунова, 2

Подписное