Электростатическое крепежное устройство

(>0 454654

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 24.07.73 (21) 1948077J26-25 (51) М. Кл. Н 02п 13 00

В 23q 3/15 с присоединением заявки №

Государственный комитет

Совета Министров СССР (32) Приоритет

Опубликовано 25.12.74. Бюллетень № 47

Дата опубликования описания 24.02.75 (53) УДК 62-229.39 (088.8) ла делам изобретений и открытий

1 тФ 1 1

1 (72) Авторы изобретения (71) Заявитель

В. Н. Таиров и Л. В. Тонкий

Ленинградский ордена Ленина электротехнический институт им. В. И. Ульянова (Ленина) (54) ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ КРЕПЕЖНОЕ УСТРОЙСТВО

Изобретение относится к электростатическим крепежным устройствам и может найти применение в тех областях техники, где требуется закрепление электропроводящих как магнитных, так н немагнитных деталей при технологической обработке металлическпх и полупроводниковых объектов.

Известно электростатическое крепежное устройство, имеющее в качестве рабочего элемента полупроводящую плиту, нижняя поверхность которой металлизирована, а верхняя, рабочая поверхность покрыта тонким слоем диэлектрика. Источник высокого напряжения одним полюсом соединен с нижней стороной плиты, другим — с объемным контактным узлом, помещенным сбоку от плиты и расположенным над ней, например, в виде скобы. При наложении детали на рабочую поверхность плиты вплотную к контактному узлу образуется конденсаторная система, в которой одной обкладкой является закрепляемая деталь, другой — металлизированная сторона плиты. За счет энергии электрического поля такого конденсатора происходит закрепление детали.

При случайном нарушении контакта между деталью и контактным узлом усилие закрепления исчезает, кроме того невозможно обработать всю поверхность плоской детали, особенно малой толщины, из-за наличия контактного узла.

Цель изобретения — увеличить надежность закрепления деталей.

Это достигается тем, что вместо объемного контактного узла для подвода электрического потенциала к детали используется нанесенный непосредственно на рабочую поверхность плиты электрод в виде узких, равномерно

10 распределенных по поверхности металлических полос, имеющих постоянный контакт с одним полюсом источника высокого напряжения.

На фиг. 1 представлено электростатическое

15 крепежное устройство; на фиг. 2 — общий впд плиты с электродами.

Устройство состоит из полупроводящей плиты 1, закрепленной металлическими накладками 2 в корпусе 3. На нижнюю сторону пли20 ты нанесен слой металла 4, играющий роль одного из электродов. Второй электрод 5 в виде узких полос шириной, например, 0,2—

0,5 мм и толщиной 5 — 10 мкм нанесен на рабочую поверхность плиты. Источник вы25 сокого напряжения 6 одним полюсом соединен с электродом 4, другим через корпус 3, накладку 2 и контактные площадки 7 — со вторым электродом 5.

Расстояние между полосками второго элек30 трода должно быть в два или более раза больше, чем толщина плиты.

454654

Предмет изобретения

Фиг. 1

Фиг 2

Составитель В. Баев

Техред Г. Васильева

Редактор О. Степина

Корректор В. Кочкарева

Заказ 186/18 Изд. № 242 Тираж 781 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д-; 4/б

Типография, пр. Сапунова, 2

Для закрепления одной или нескольких деталей необходимо установить их на рабочую поверхность плиты и подать напряжение на электроды. При снятии напряжения деталь открепляется.

Электростатическое крепежное устройство деталей, содержащее блок питания, полупроводящую плиту, установленную в корпусе, электроды, один из которых выполнен в виде слоя металла- и расположен на нижней стороне плиты, а другой расположен на верх5 ней рабочей стороне плиты, отличающийс я тем, что, с целью увеличения надежности закрепления деталей, второй электрод выполнен в виде по крайней мере одной полосы металлической пленки, нанесенной на верхнюю

10 рабочую поверхность плиты.