Способ очистки внутренних поверхностей электровакуумных приборов
t
О П -H — И-
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
Союз Советских
Социалистимеских
Республик
452879
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт, свидетельства— (22) Заявлено 07.06. 72 (21) 1794613/26-25 (51) М. Кл. НО1 9/38 с присоединением заявки—
Государственный комитет
Совета Министров СССР оо делам иэооретеннй н открытий (32) Приоритет—
Опубликовано:05.12 74,„Áþëëåòåíü № 45
Дата опубликования описания 15.12. Я(53) УДК 621.385. (088.8) (72) Авторы изобретения
В.М.Геллер и N Ñ.×àõëîâ.
Новосибирский электрон ехнический институт (71) Заявитель
СПОСОБ ОЧИСТКИ ВНУТРЕННИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ
ЭЛЕКТРОВАК .т УМНЫХ ПРИБОРОВ
Из»брет»шн. относится к технологии из- готовленпп элект1)овакуул1ных приборов.
Известен способ очистки внутренних поверхностей электроиакуумных приборов в собраиюл виде путем возбуждения газового разряда в мождуэлектродном пространСТВО.
Недостатком этм о способа очистки явни)»тся ц)уднос! ь ООздания газовОгО 1)азряда, 1)ивпомерно заполняющего л еждуэлектродное проотрапство собранного очищаемого прибора, а также нарушение свойств электродов, в частности катодов.
Ф
Предложенный способ очистки внутренних поверхностей электровакуумных приборов свободен от указанных недостатков.
Он отличается тем, что разряд возбуждают на частоте электромагнитного резонанса очищаемот О междуэлектродного пространства.
На чертеже показано устройство для реализации предложенного способа очистки электровакуумных приборов. 1
Выход вспомогательного CB Ч-источни-, ка мощности 1 через волноводный тройник 2, в Е-плечо которого включен ко1 откозамыкатель 3, соединен с аттешоато5 1ром 4 и далее через измерительный прибор 5, измеряющий проходящую л1ощнос.) ь, с СВЧ-вводом 6 очищаемого прибора 7.
Штенгель 8 прибора соединен с натекат»вЂ” лем 9 и вакуумной откачной системои l0.
Электрол1агнитную энергию СВ Ч-источника 1 через волноводный тракт, состоящий из элел1ентов 2-3-4-5-6, вводят во
И внутреннюю полость очищаемого прибора 7, щтенгель 8 которого соединен с натекателем 9 и вакуумной откачной системой .1.0.
С помощью короткозамыкатели 3 н»дстраивается частота сигнала, генерируемого источником l, и при подаче рабоч»Го газа через штеш ель 8 в полости очп25 щаемого и ибо рибора 7 возникает равномерный!
Составитель В, Мирошкина
Редактор т, Орловская Техрел Г9@C!4!1beaa, Корректор Ц, БЕЛяВСКВЯ
Ц1-И.111 1
1 1! Госу дарственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, 113035, Раушская наб., 4
Г!рсдприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская наб, 24 Ф
Разряд на частоте электромагнитного резонанса. Для удаления продуктов очистки из внутреннего объема прибора рабочий газ в очищаемую полость вводится непрерывно. Вид разряда определяется измерительным прибором б по уровню мощности, требуемой для поддержания разряда, При СВЧ-разряде ионная бомбардировка поверхностей незначительна, в результате чего свойства катода сохраняются.
Параметры режима очистки: мощность импульсного СВЧ-источника 8-10 квт в импульсе при скважности 1000, давление рабонего газа в очищаемой полости (2- 3) °
C с
° 10 мм рт. ст., время очистки 6-8 мин. 15
После проведения цикла очистки приборы размонтировали, и их внутренние поверхности подвергли анализу на наличие гидрофобных загрязнений, уровень которых, измеренный методом конденсации, составилл 0,01 мкг/см при начальном уров2
2 не загрязнения перед сборкой 0,1 мкг/см
Операция очистки собранного электровакуумного прибора может производиться дваждьц перед активировкой катода и перед отпайкой прибора.
Предмет изобретения!
Способ очистки внутренних поверхностей электровакуумных приборов путем возбуждения газового разряда, отличающийся тем, что, с целью создания газового разряда, равномерно заполняющего междуэлектродное пространство и не нарушающего свойства электродов, разряд возбуждают на частоте электромагнитного резонанса очищаемого междуэлектродного пространства.
