Устройство для финишной очистки подложек

библиотека МБА

О П И С А Н И Е (») 449399

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 31.05.72 (21) 1790887/26-25 с присоединением заявки № (51) М. Кл. Н 011 7, 68

Государственный комитет (23) Приоритет

Совета министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.382(088.8) Опубликовано 05.11.74. Бюллетень № 41

Дата опубликования описания 26.05.75 (72) Авторы изобретения А. П. Достанко, М. И. Пикуль, П. П, Гойденко и Ю. А. Кулагин

Минский радиотехнический институт (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФИНИШНОЙ ОЧИСТКИ ПОДЛОЖЕК

Предмет изобретения

Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной техники и может найти применение для очистки деталей, например подложек, полупроводниковых приборов.

Известны устройства для очистки деталей, содержащие ультразвуковую колебательную систему, состоящую из магнитострикционного преобразователя, концентратора и волновода, в теле которого закрепляется деталь. Узел крепления деталей не обеспечивает равномерного распределения по детали ультразвуковой энергии и полного ее использования.

В предложенном устройстве указанные недостатки устранены благодаря тому, что узел крепления подложек выполнен в теле волновода в виде плоского ромба, углы которого срезаны плоскостями, параллельными оси волновода, и снабжен регулируемым упором со стороны, противоположной концентратору.

На чертеже схематично показано предложенное устройство и узел крепления подложки.

Устройство содержит источник электронов, состоящий из термоэмиссионного катода 1, подвижной заслонки 2 для задержки или пропускания потока электронов на подложку 3 и высоковольтного блока питания 4, и ультразвуковую колебательную систему, состоящую из магнитострикционного преобразователя 5, концентратора 6, волновода 7, в теле которого выполнен узел крепления 8 подложки с подвижным упором 9.

Перед нанесением покрытия в вакуумной камере очищенную одним из известных спо5 собов (химическим, электрохимическим и др.) подложку 3 закрепляют с помощью подвижного упора 9 и устанавливают в узле крепления 8, выполненном в теле волновода в виде плоского ромба, углы которого срезаны плос10 костями, параллельными оси волновода.

При использовании такого устройства в рабочей камере с давлением 10 — 4 — 10 мм рт. ст. подложке 3 сообщаются ультразвуковые колебания, обеспечивающие очистку ее от за15 грязнений, не имеющих с ней прочной кристаллохимической связи. Совместное воздействие ультразвуковых колебаний и бомбардировка потоком электронов позволяет эффективно удалять с поверхности подложки окис20 ную пленку.

25 Устройство для финишной очистки подложек, содержащее электронно-лучевую систему и ультразвуковую колебательную систему, состоящую из преобразователя, концентратора, волновода и узла крепления подложек, о т л и30 ч а ю щее с я тем, что, с целью повышения ка449399

Составитель Ю. Цветков

Редактор Т. Орловская Техред В. Рыбакова . Корректоры: И, Позняковская и Л. Орлова

Заказ 1173/10 Изд Лг, 540 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 чества очистки 3а счет увеличения равномерности распределения по подложке ультразвуковой энергии и уменьшения ее потерь, узел крепления подложки выполнен в теле волновода в виде плоского ромба, углы которого срезаны плоскостями, параллельными оси волновода, и снабжен регулируемым упором со стороны, противоположной концентратору,