Микроманипулятор

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 44l689 (61) Зависимое от авт. свидетельства(22) Заявлено2 7. 06. 72 (21)7803452/Б-24 (51) М. Кл.

Н 05к ХЗ/00 с присоединением заявки

Государственный комитет

Совета й1нннстров СССР по делам изобретений и открытий (32) Приоритет

ОпубликованоЯ3.08.74Бюллетень № 32 (53) АК 68I.327.66 (088. 8 т дата опубликования описания 5 Т2 74 (72) Лвторь1 А.В.БадЫЛКИН В.И.НИжаНКОВСКИй В.Т.НаКОНВ й, Ю.А.Устинов,В.Е.Кутейников,В.A.Тюрин и И.В.Королвв

Изобрвтвнив относится к области оптичвской вычислительной

TBXHEKH

Изввстны микроманипуляторы, устройства для совмвщвния растровых модулей с информационной кассвтой, устройства для совмвщвния рисунка подложки с фотошаблонами, мвханизмы пврвмвщвния првдмвтного столика микроскопа, содвржащив основание, корпус, размвщвнный в нвм двухкоординатный поворотный стол с микромвтричвскими винтами для совмвщвния и поворота, мвханизмы крвплвния подложки, мвханизмы подачи фотошаблонов, оптичвсков у стройство.

Цвль изобрвтвния — повышвнив точности оривнтации линзорастровых модулвИ относительно вспомогатвльных баз,обвспвчвнив пврвноса модуas на проаралаую подложку рапир вой информационной кассвты (РИК бвз нарушвния получвнной оривнтации, а такжв уввличвнив кинвмати2 чвской чувствйтвльности органов управления микропврвмвщвний линзорастрового модуля и поворота микроманипулятора.

5 Это достигавтся твм, что линзорастровый модуль закрвйлен на торцовой повврхности аррвтира мвханизма пврвноса модуля, двухкоординатный столик првдставлявт собой плавающий вкладыш, расположвнный внутри корпуса микроманинулятора, в котором подвижно установлвн арретир механизма переноса модуля, вал поворота микроманипулятора выполнвн пустотвлым и размвщвн в основании мвханизма пврвноса растрового модуля. Кромв того, для возможности вйзуального просмотра в проходящвм сввтв базовых линз модуля расточвны по четыре соосно расположвнных смотровых отверстия в аррвтирв, плавающвм вкладышв, нижнвИ крышкв микроманипулятора и в основании мвханизма aspeaoca моду25 л 1

44I

На фиг. I показан првдлагавмый микромайипулятор, вид в планв с частичными разрезами (бвз вврхнеИ плиты); на фиг. 2-то жв, попврвчный разрез по А-А на фйг. Х по оси поворота микроманипулятора на фиг. 3 — разрвз по Б-.Б на фиг.1

Линзорастровый молль Х уста- . новлен и закреплвн на торцовой повврхности аррвтира 2 маханизма пврвноса модуля. Аррвтир по скользящвй посадкв вставлен в плавающий вкладыш 3. Палвц 4, запрессованный в арретир, првпятствует повороту послвднвго относитвльно плавающвГО вкладыша; Аррвтир прижат к торцовой повврхности плавающвго вкладыша силой сжатия пружины 5. Кольцо

6, застопорвннав на нижнвм концв арретира стопорной шайбой 7, является подцврживающвй опорой аррвтира. Плавающий вкладыш расположвн внутри корпуса 8 микроманлпулятора, МеК опорной (нижнвй ) плитой 9 микроманипулятора и вго крышкой I0.

Опорная плита и крышка прикрвпавны к корпусу микроманинулятора винтами и штлфтами так, что плавающий вкладыш можвт пврвмвщаться внутри корпуса микроманипуытора. Вокруг полой оси П опорной плиты, установленной по скользящей посадке в основанив I2 мвханизма переноса модуля, микроманипулятор имеет воз „ можность поворачиваться. Полая ось II выполнвна за одно цвлов с опорной плитой Э. В аррвтидв, в плавающвм вкладышв, опорной нлитв и основании I2 соосно расточвны

IS-Х6. по чвтырв смотровых отверстия

Мвханизи микропврвмвщвния линзорастрового модуля по оси У-У выполнен клино-микровинтовым. Гай- 5 ка 17 механизма микропврвмвщвний выполнвна путвм залыки стирокрила в обойму вмвств с микрометрическим винтом I8. Гайка 17 цвнтрирующим пояском вставлвна в отварстив корпуса 8 микроманипулятора и закрвплвна винтами. Клин 19 механизма имввт Т-образный паз, в который вставлвн Т-образный конец микровинта Х8. Внутри корпуса микроманипулятора установлвн неподвижный клин 30, служащий опорой подвижного клйна I9. Плавающий вкладыш прижат к клину I9 силой

4 сжатия плоскоИ пружины 2I.

Мвханизм микропвремвщения линзорастрового модуля по оси Х-.Х изготовлен аналогично. Мвханизм включает аналогичныв двтали: гайку

22, микромвтричвский винт 23, подвижный клин 24, нвподвижный каин .25 и плоскую пружину 26.

Механизм микроповорота микооманипулятора вокруг полой оси I выполнен также клино-микровинтовым. Гайка 27, микромвтричвский винт 28 и совдиненив микровинта 28 с подвижным клином 29 аналогичны соотввтствующим элвмвнтам мвханизма микропервмещвний. Гайка 27 цвнтрирующим пояской вставлвна в отвврстив бруска 30 и закрвплвна винтами. Подвижный клин 29 имеет возможность пврвмвщения вдоль продольного паза сделанного в брускв

30. В брускв 2 вмонтирован буфвр ный узел. Корпус 8 микроманипулято ра поджат толкатвлвм 32 к подвижному клину 29 пятой 33 под двйстви вм силы сжатия пружины, отрвгуливанной винтом 34. Бруски 30 и

I установлвны между основанивм I2 и вврхнвй плитой 35 так, что микроманипулятор имвет возможность поворота вокоуг полой оси П.

Рычаг 36 мвханизиа парвйоса линзорастрового модуля на прозрачную подложку РИК устаяовлвн на оси

37. Маховичок 38, выполнвнный в вида торцового кулачка, расположвн на оси. торцовая noaeрхность кулачка опирается на пяту 39, запрессованную в выходной конвц рычага 36.

Микроыанипулятор работавт слвдующим образом.

Линзораст вый модуль I устанавливают и закрвпляют на торцовой повврхности арретира 2. Онтичвскую ось одной из базовых лйнз растрового модуля совивщают с осью nîâîðîта микроманипулятора с полой осью

II под микроскопом при помощи микроманипулятора.

При вращении микромвтричвского- винта Ib мвханизма микропврвмвщвния линзорастрового модуля по оси У-У клин I3 пврвмвщавтся посту патвльно. Перемещвнив подвижного клина И вызывавт пвремвщвйив плаающвго вкладыша 3 под двйствивм или против действия) силы сжатия плоскои пружины 1. При этом пла44I689

5 вающий вкладыш силой сжатия плоской пружины 26 все время (щижимавт ся к подвижному клину 24. ъаким образом, обеспечивается постоянное направление перемещения плавающего вкладыша, перпендикулярно к оси Х-Х.

Аналогично при вращении микромвтрического винта 23 механизма микропврвмвщвния линзорастрового модуля по оси Х-Х плавающий вкладыш перемещается перпендикулярно к оси У-У.

Вместе с плава оум вкладышем is в направлении осей Х-Х и У-У перемещается смонтированный в нвм механизм переноса линзорастрового модуля. На торцовой поверхности appemga 2 механизма переноса установ- ю

llsH линзорастровый модуль. Таким образом, происходит совмещение оптической оси базовой линзы растрового модуля с осью поворота микроманипулятора. 25

Ориентацию оптических осей остальных базовых линз растрового модуля осуществляют поворотом микроианипулятора вокруг полой оси П до полной ориентации относительно зо вспомогательных технологических баз.

При вращении микромвтричвского винта 2Ь механизма микроповорота микроманипулятора перемещается з поступательно клин 29, что вызывает поворот микроманйпулятора под действием (или против действия) сил сжатия цилиндрической пружины буферного устройства вокруг полой 0 оси П.

При повороте маховичка 38 на четверть окружности рычаг 36 поворачивается вокруг оси 37, поднимает арретир с линзорастровым модулем и переносит последний íà прозрачную подложку РИК без нарушения достигнутой ориентации, так как палец 4, запрессованный в аррвтирв, перемещаясь в пазу плавающего вкладыша, предохраняет аррвтир от поворота во время подъема. При возвращении маховичка в первоначальное положение аррвтир устанавливается в исходнов положение под действием силы сжатия пружины 5.

ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Микроманипулятор, содержащий механизм переноса модуля с аррвтиром и основанием, на котором расположена опорная плита с валом поворота и корпусом, внутри которого размещены механизмы перемещении модуля в двух взаимно перпендикулярных направлениях, о т л и ч а ю шийся там, что, с целью уве- личения точности установки модуля и повышения кинвматичвской чувстви тельности, арретир установлен подвижно в плавающем вкладыше в корпусе, вал поворота выполнен пустотелым и установлен в основании механизма переноса модуля, в аррвтирв, плавающем вкладыше, корпусе и основании выполнены по четыре соосно расположенных смотровых отверстия.