Датчик трехмерного квадрупольного масс-спектрометра

ОЛИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1111 4339IS

Союз Советскм

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 19.06.72 (21) 1798153/26-25 (51) М. Кл. В Old 59/44

G 01п 27/62 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 30.06.74. Бюллетень ¹ 24

Дата опубликования описания 5.11.74

Государственный комитет

Совета Министров СССР

IM делам изобретений и открытий (53) УДК 621.384.8 (088.8) (72) Авторы изобретения

Э. П. Шеретов, В. Ф. Самодуров и В. Н, Матвеев

Рязанский радиотехнический институт, (71) Заявитель

1 (54) ДАТЧИК ТРЕХМЕРНОГО КВАДРУПОЛЬНОГО

МАСС-СПЕКТРОМЕТРА

Известен трехмерный квадрупольный массспектрометр, в котором приемником отсортированных заряженных частиц служит электронный умножитель, расположенный непосредственно вблизи вытягивающего элек- 5 тр ода.

Однако датчик масс-спектрометра имеет недостаточную чувствительность, малое значение максимального рабочего давления.

Известно, что при выходе накопленных в lo датчике ионов во время выплеска через торцевой вытягивающий электрод эти ион=I имеют большой разброс по радиальным скоростям, чем обусловлено их значительное рассеяние и уменьшение количества ионов, попадаю- 15 щих в электронный умножитель. Для устранения этого явления приходится применять крупногабаритные умножители с большой площадью входного окна. Это значительно увеличивает размеры датчика. При стремле- 20 нии расширить рабочий диапазон датчика в сторону высоких. давлений приходится отказываться от использования электронных умножителей открытого типа и переходить на применение преобразовательного устройства с фо- 25 тоэлектронным умножителем. При этом площадь входного окка фотоумножителя для увеличения чувствительности приходится увеличивать, что также приводит к увеличению габаритов датчика. 30

С целью увеличения чувствительности, устойчивости работы датчика при повышенHbIx давлениях и уменьшения его габаритов в предлагаемом датчике между выходным торцевым электродом и приемником ионов располагают систему соосных усеченных конусов, причем конус с наибольшим диаметром имеет выступ в сторону приемного устройства. Это обеспечивает фокусировку вторичных электронов к центру симметрии системы.

Предлагаемый датчик изображен на чертеже, продольный разрез.

Преобразовательный электрод 1 располагается в полости торцевого электрода 2, что значительно уменьшает габариты датчика.

Для увеличения коэффициента вывода вторичных электронов в сторону измерительного устройства со стороны выходного торцевого электрода около преобразовательного электрода располагаются две достаточно прозрачные сетки 3. Конусная конструкция преобразовательного электрода обеспечивает фокусировку вторичных электронов, выбиваемых с поверхности конусов, к оси симметрии системы.

Для увеличения эффективности фокусировки служит п выступ 4 на конусном электроде с наибольшим диаметром. Наличие эффективной фокусировки вторичного электронного поТ0Н3 дас1 возмо>1 ность увеличить чувствитель433918

Составитель Ю. Сухарев

Техред Г. Дворина

Корректор О. Усова

Редактор И. Орлова

Заказ 2963/7 Изд. № 1763 Тираж 651 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К-35, Раушскан наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ность системы регистрации при уменьшении габаритов применяемых электронных умножителей и фотоэлектронных умножителей в случае использования преобразования энергии вторичных электронов в энергию излучения на люминофоре 5.

Предмет изобретения

Датчик трехмерного квадрупольного массспектрометра, содержащий выходной торце4 вой электрод и приемник ионов, отл и ч а юшийся тем, что, с целью уменьшения габаритов датчика и расширения рабочего давления, между выходным торцевым электродом и

5 приемником ионов расположены ускоряющие сетки и преобразовательный электрод, выполненный в виде системы соосных усеченных конусов, причем конус с наибольшим диаметром имеет выступ в сторону приемного уст10 ройства.