Патент ссср 433435
ОЛ NCAHMK
ИЗОБРЕТЕЙ ЙЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕИВЬСХНУ (11)> 433435
Союз Советских
Социалистимеских
Респубпик (б1) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено Х7.04. 72 (21)I772257/26% с присоединением заявки (51) М Кл.
9 OI4 7/ОО
Государственный комитет
Сапата Министроа СССР по делам изооретений и открытий (32) Приоритет (З) ЯК 62I.038.
544И)88. 8) Опубликованс25.06 74Бюллетень М (46), Дата опубликования описанияХ5. Х2. 74 (72) Авторы изобретения
КЛ. Акбаев, B.II. Афанасьев,Р.Н. Галль, B.А.Павленко и
С.Я.Явор
Специальное конструкторское бюро аналитического приборостроения (71) Заявитель (54> АНАПИЭАТОР ЭАРЯЖЕННЦХ ЧАСТИЦ
Изобретение относится к элек: тронной оптике, в частности к анализаторам заряженных частиц.
Известный сферический,йапример Х80о=ный анализатор, характеризуется сравнительно большими аберрациями в радиальном и аксиальном направлениях, вызванными тем, что частицы, движущиеся по траекториям с крйвизнои болыпей, чем кривизна средней инии сферйческого конденсатора, пересекают среднюю линию выше изображения,а частицы, движущиеся по траекториям с крйвизнои меньшей„ чем кривизна средней пинии анализатора, пересекают среднюю линию ниже изображения.
Цель изобретения — максимальное устранение аберраций и, тем самым, получение четкого изображе= ния без уменьшения светосилы.
Это достигается путем локального ослабления поля в центре кон денсатора за счет изменения формы электродов конденсатора, например, выполнением их с углублеииями в центре конденсатора, причем телесный угол углублений много меньше
5 телесного угла конденсатора, и ВВВ. дением в эти углубления изолирован ных дополнительных электродов, на которые подается напряжение противоположной полярности по отноше1о нии к основным электродам, причем дополнительные электроды йе ограничивают механически пучка заряженных частиц.
На фиг. I m 2 представлена
is схема предлагаемого анализатора.
Приняты следующие обозначе- ния: электроды 1 сферического I8(3 ного конденсатора; дополнительнве ° электроды 2, на которые подается ю напряжение обратной полярности по отношению к основьщм электродаме крайние траектории ос заряженных частиц пучка при отсутствии области ослабленного поля; крайние
2б траектории со заряжейных частиц
4 фокусирующий заряженные частицы в радиальном и аксиальном направлении, дает малые аберрации и хорошую орму "линии" на выходе, обладает ольшой светосилой и разрешающей способностью.
3 пучка при наличии области ослабленного поля; области 3, в которых изменена форма основных. электродов источник А заряженных частиц; изображение В источника заряженнйх частиц. ок заряженных частиц, вылетающих из источника заряжейных частип, попадает в поле сферического конденсатора. При прохождении области локального, ослабленного поля кривизна траектории частип, наиболее удаленных от средней траектории, уменьшается, вследств1 чего точки пересечения крайних траекторий со средней приближаются друг к другу, что соответствует уменьшению аберраций, как в ради альном, так и в аксиальном направлениях.
Айализатор заряженных частиц, Предмет изобретения
Анализатор заряженных частиц, включающий источник частиц, I80 =ный сферический электрический конденсатор и регистрирующее устройство, отличающийся тем, что с целью уменьшения аберраций за счет локального ослабления поля сферического конденсатора, электроды конденсатора имеют углубления в центре конденсатора, а в указанных углублениях помещенй дополнительные изолированные электроды.
433435
Заказ 39YZ
И зл. ле
Тираж ЗРЮ
Полннсное
ll1l1ll1IIl1 осударственного коеиитета Сове а Министров СССР но делам изобретений и открытий
Москва, 113035, Раушская наб., 4
Прслврнятне «Патент», Москва, Г-59, Бережковская Hàá., 24
СоставительН ЭОЛОТУХИНИ
РелакторАБатЫГИН Техред ЛБОГДаНОВа Корректор
