Патент ссср 418917
1 иит ...т- c.— .;.":... и я
1 !
ОПИС Е
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
4I8 917
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 01.Ч11.1971 (№ 1675196/26-25) М. Кл. Н ОЦ 1/20 с присоединением заявки №
Приоритет
Государственный комитет
Соввта Министров СССР оо делам иэооретений и открытий
УДК 621.385.032.213.6 (088.8) Опубликовано 05.111.1974. Бюллетень № 9
Дата опубликования описания 31 VII.1974
Авторы изобретения А. А. Шмуратов, А. И. Пластюк, М. И. Лютенко и В. Я. Рыжков
Заявитель
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННЫХ ПУШЕК
Предмет изобретения
Изобретение относится к электронным пушкам и может быть использовано в электронных микроскопах и других электронно-оптических приборах, где требуются электронные пучки высокой яркости, когерентности и большой плотности при малых поперечных сечениях.
Известны катодные узлы для электронных пушек, содержащие иглу, приваренную к верш и не нити накала. Они сложны в изготовлении и дают некогерентный электронный пучок.
Предложенный катодный узел позволяет
II0BbIсить когерентность электронного пучка и эффективность разогрева иглы за счет того, что катодный узел снабжен диафрагмой из вольфрамовой фольги, в отверстии которой помещено острие иглы.
Игла электрически контактирует с диафрагмой.
На чертеже изображен предложенный катодный узел, состоящий из иглы 1, диафрагмы
2, токоподводящих штырей 3 и диэлектрической панели 4.
Игла, изготовленная электролитическим травлением из вольфрамовой проволоки, присоединена к одному из токоподводящих штырей, а диафрагма из вольфрамовой фольги присоединена к другому токо подводящему штырю. Игла размещена в отверстии диафрагмы и соприкасается с ней.
К токоподводящим штырям подводится напряжение накала Li„. За счет омического сопротивления иглы и контактного сопротивления между иглой и диафрагмой игла разогре5 вается. Поскольку масса диафрагмы больше, чем масса иглы, игла разогревается гораздо больше, чем диафрагма. Кончик иглы, «отсекаемый» диафрагмой, эмиттирует электроны.
Формирование электронного луча из этих
10 электронов и управление лучом осуществляется электронно-оптической системой. Диафрагма, являясь составной частью катода, одновременно служит экраном для электронов, эмиттирующих не из острия иглы.
15 Преимущества предложенного катодного узла заключаются в следующем. Кончик иглы за счет эффекта Шоттки является «точечным» источником электронов с очень высокой электронной яркостью. Электронный пучок, полу20 чаемый с помощью описанного катодного узла, является высококогерентным за счет того, что для формирования электронного пучка используются только те электроны, которые эмиттируют с конца иглы, т. е. практически
25 моноэнергетические электроны.
Катодный узел для электронных пушек, со30 держащий игольчатый катод и токоподводя418917
Составитель Г. Жукова
Техред 3. Тараиенко
Редактор Т. Орловская
Корректор 3. Тарасова
Заказ 1804/16 Изд. № 574 Тираж 760 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Я-35, Раушская наб., д 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 щие элементы, отличающийся тем, что, с целью повышения когерентности электронного пучка и эффективности разогрева иглы, катодный узел снабиен диафрагмой, в отверстии которой размещена игла таким образом, что ее вершина электрически контактирует с диафрагмой, причем игла и диафрагма подсоединены к токоподводящим элементам.
