Патент ссср 410334

Авторы патента:

G01R27/02 - для измерения активного, реактивного и полного сопротивления или других производных от них характеристик, двухполюсника, например постоянной времени (для измерения только фазового угла G01R 25/00)

410334

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистимеских

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. 6 01г 27!02

Заявлено 16Л1.1971 (№ 1619302/18-10) с присоединением заявки № 1677419/18-10

Приоритет

Опубликовано 05Л.1974. Бюллетень № 1

Дата опубликования описания 29.IV.1974

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изаоретений и открытий

УДК 621.317.73(088.8) Авторы изобретения

Б. А. Наливайко и С. Д. Воторопин

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ

УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПО ПОВЕРХНОСТИ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ

Изобретение относится к измерительной н полупроводниковой технике, в частности к устройствам для измерения удельного сопротивления локальных областей полупроводниковых материалов.

Известно устройство для определения удельного сопротивления полупроводников при помощи электронного пучка, который после фокусировки проходит через сканирующее устройство в виде конденсатора и подается на поверхность образца, Образец совершает перемещение в направлении по нормали к площади сканирования. После усиления сигналов фото-э.д.с, и сигнала, пропорционального скорости перемещения, на экране

ЭЛТ регистрируется семейство кривых, отображающих распределение удельного сопротивления по всей поверхности проводника.

Однако отмечается необходимость создания контактов, например, омических, что приводит к зависимости результатов измерений от качества контактов. Кроме того, известные устройства не позволяют проводить исследование полупроводниковых высокоомных слоев, полученных любым способом на низкоомном основании (например, эпитаксиальных пленок) .

Цель изобретения вЂ” повышение точности и расширение возможности измерения. Это происходит благодаря тому, что устройство снабжено проходнbIM резонатором, в котором расположен образец, и на вход которого включе ы видеодетектор и измерительный блок.

На чертеже представлена блок-схема описываемого устройства.

Устройство состоит из генератора СВЧ колебаний 1, служащего для подачи смещения на исследуемый образец 2, помещенный в проходной СВЧ резонатор 3, видеодетектора 4, детектирующего прошедшую через резонатор

10 3 СВЧ мощность, измерительного прибора 5, измеряющего напряжение на сопротивлении нагрузки 6 видеодетектора 4, которое пропорционально удельному сопротивлению участка образца 2, находящегося под световым зон15 дом 7, сформированным специальным устройством 8.

Устройство работает следующим образом.

С помощью светового зонда 7 в исследуемом образце 2 возбуждается неравновесная

20 проводимость, что приводит к изменению добротности и резонансной частоты резонатора 3, в который помещен образец 2. Следовательно, коэффициент передачи СВЧ резонатора 3 также изменится, изменяя и проходя25 щую через резонатор мощность, Если теперь модулировать по определенному закону мощность зонда 7, то это приведет к модуляции проводимости освещаемого участка образца 2 и проходящая через резонатор 3 мощность

30 СВЧ также будет промодулирована по амплитуде по тому же закону. При этом при со410334

Предмет изобре гения

Составитель T. Лфоннна

1 екред T. Миронова

Корректор Л. Орлова

Редактор О. Филиппова

Заказ 1039/14 Изд. № 354 Тчраж 811 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 5Ê-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр, Сапунова, 2 хранении все.; пара;,:етров свстсвого зонда 7 глубина мод, ляции прошедшей СВЧ мо цнос.и оудет пропорциональна удельному сопротивлению участка образца 2, в котором возбуждается неравновесная проводимость. Прошедшая через резонатор 3 СВЧ мощность подается на видеодетектор 4, на сопротивлении нагрузки 6 которого измеряется напряжение, пропорциональное удельному сопротивлению освещаемого участка образца 2. Перемещением зонда 7 по поверхности образца 2 исследуется профиль удельного сопротивления образца. стройство дл", измерения распределения удельного сопротивления по поверхности полупроводниковых материалов, содержащее

СВЧ генератор подачи смещения на исследуемьгй образец, блок формирования светового зонда, видеодетектор и измерительный блок, о т л и ч а 1о щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено проходным резонатором, в котором расположен образец, и на выход которого включены видеодетектор и измерительный блок.

Патент 401937 // 401937

Цифровой измеритель сопротивлений // 398894

Устройство для измерения сопротивлеиий // 397854

Автоматическое устройство для изм1 рг.ния сопротив.прнии // 394734

Цифровой автоматический измеритель кол^плексныч иараметров электрических цепей // 394721

Устройство автоматического допускового контроля параметров комплексных сопротивлений // 392426

Устройство для масштабирования тензоузлов сельскохозяйственных машин // 392425

Способ измерения удельного сопротивления // 390473

Устройство для полуавтоматической подгонки в номинал сопротивления проволочных резисторов // 388305

Способ измерения установившегося значения сопротивления изоляции // 2101716

Изобретение относится к технике электрических измерений и предназначено для профилактических испытаний изоляции крупных электрических машин и аппаратов, имеющих большую постоянную времени

Способ измерения активных сопротивлений // 2110073

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано для измерения резисторов, сосредоточенных сопротивлений и сопротивления изоляции в электрических цепях

Способ контроля чистоты материала электропроводного изделия (варианты) // 2115934

Изобретение относится к исследованию и анализу материалов с помощью электрических средств и предназначено для контроля неоднородности электропроводного изделия по толщине материала, например, при проверки возможной подделки изделия в форме слитка из драгоценного или редкого металла

Способ измерения активного сопротивления элементов электрических цепей, содержащих индуктивности с ферромагнитным сердечником, и устройство для его осуществления // 2117307

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения параметров индуктивных элементов, а также исследования и оценки свойств ферромагнитных материалов

Инвариантный измерительный преобразователь в виде делителя напряжения // 2118826

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в приборостроении для построения параметрических измерительных преобразователей, инвариантных к изменениям параметров источников питания и другим влияющим величинам

Способ определения параметров комплексного сопротивления электрической сети от точки подключения силового трансформатора до точки с бесконечной мощностью короткого замыкания // 2118828

Изобретение относится к электроизмерительной технике, а именно к способам определения сопротивлений, и может быть использовано при экспериментальных измерениях

Мера активного сопротивления // 2119170

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано в качестве частотно-независимой меры активного сопротивления в диапазоне 1 - 100 кОм

Инвариантный измерительный преобразователь в виде делителя // 2121148

Способ контроля параметров конденсаторов, катушек индуктивностей и резисторов // 2121151

Изобретение относится к электроизмерительной технике и предназначено для контроля параметров конденсаторов, катушек индуктивностей и резисторов в процессе их производства

Способ бесконтактного измерения удельной электропроводности плоских изделий // 2121152

Изобретение относится к бесконтактным неразрушающим способам измерения удельной электропроводности плоских изделий с использованием накладных вихретоковых датчиков