Патент ссср 408665
i 408665
ОП ИСАЙ ИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДБТИЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Зависимое от авт. свпдстсльства— (22) Заявлено 06.03.72 (21) 1755544/18-10 (51) М.1хл. В 06Ь 1/00 с присоединением заявки %в
Государственный квнитвт
Совета Министров СССР но депаи изооретений и открытий (32) Приоритет—
Опубликовано 30.11.73. Ввллстсш, ¹ 48 (53) УД К 534.232 (088.8) Дата опубликования описания 08.08.74
М.А Землян ць и А И Морозов
I ..,, i
Институт радиотехники и электроники AH СССР ., .«.",;,,. ::;,:.;(. :"; (72) Автор ы изобретения (71) Заявитель (54) ПЬЕЗОПОЛУПРОВОДНИКОВЫй ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ
Изобретение относится к пьезополупроводниковым преобразователям с диффузионным слоем, изготовленным, например, из CdS, ZnO, GaAs и предназначенным для возбуждения и приема ультразвуковых волн, и может быть использовано при изготовлении широкополосных ультразвуковых линий задержки, работающих в диапазоне 10 — 300 Мгц.
Известна конструкция пьезополупроводникового преобразователя с диффузионным слоем, представляющая собой низкоомную пластину пьезополупроводника, в которой диффузией примеси создан высокоомпый пьезообразующий слой, а тыльная часть пластины скошена под острым углом к рабочей плоскости.
Это необходимо для устранения «ряби» амплитудно-частотной характеристики, вызываемой интерференцией основной и отраженной от тыльной стороны пластины ультразвуковых волн.
В таком преобразователе толщина пьезополупроводниковой пластины должна быть по возможности малой, для того чтобы сопротивление толщи ес материала (сопротивление базы) не служило источником дополнительных электрических потерь. Однако при уменьшении толщины пластины механическая прочность ее понижается. Кроме того, изготовление скоса и последующая приклейка скошенного преооразователя к звукопроводу под
2 давлением для обеспечения тонкого слоя акустической связи, особенно на частотах выше ..„.100 Мгц,. приводит к поломкам преобразователя.
5 Цель изобретения — улучшение электрических характеристик прсобразовашгя прн сохранении механической прочности прсобр:1зоватсля.
Это достигается тем, что в прсобразоватс1О лс на тыльной стороне пьезополупроводннковой пластины выполнена конусообразная с закрh глснной вершиной лунка, заполненная зьукопоглощающим металлическим сплавом, образующим омичсский контакт к исходному полупроводнику и имеющим с последним близкий по величине акустический пмпсданс.
1-!а чертеже схематически изображен предлагаемый преобразователь, где l — контактный электрод; 2 — пьезопреобразующнй высокоомный c10A; — исходная п7acTHna ппакоомного пьсзополупроводника; 4 — область твердого раствора металл-полупроводник; 5— лунка, заполненная металлическим сплавом.
Преобразователь с диффузионным слоем в о5 таком конструктивном исполнении более прочен при поджиме и удобен при сборке ультразвуковых линий задержки (УЛЗ), чем скошенный преобразователь и практически нс имеет ряби (рябь 0,5 дб). 1-1алпчие тыльной
3Q звукопоглощающей нагрузки в виде лунки
408665
Составитель Г. Терехова.
Техред 3. Тараиеико
Редактор И, ГрузоваКорректор Н. Торкииа
Заказ 1768
Изд.- № 1126 Тираж 539
ЦНИИПИ Государствеппого комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Мос ква, 3(- 35, Раушская наб., д. 4/5
Подписное
Загорская типография позволяет уменьшить также уровень многократно отраженных сигналов при использовании преобразователей в высокочастотных
УЛЗ. Изготовление таких преобразователей технологично, так как лунки можно одновременно сверлить на большом числе пластин на строго контролируемую глубину (например, с помощью ульгразвуковой обработки), а образование диффузионного слоя и вплавление звукопоглотителя — омического контакта можно обеспечить одновременно при температуре диффузионного отжига.
4:
Предмет изобретения
Пьезополупроводникбвый преоблразователь в виде пластины с диффузионным слоем, отличаюи1ийся тем, что, с целью улучшения электрических характеристик при сохранении механической прочности преобразователя, на тыльной стороне пластины выполнена конусообразная с закругленной вершиной лунка, заполненная звукопоглощающиМ: металличе10 ским сплавом, образующим омический контакт к исходному пьезополупройоднику и имеющим с последним близкий по величине акустический импеданс.
