Патент ссср 400871

40087l

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТИЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства Ч 284356

Заявлено 25.1.1972 (№ 1740505, 18-10) М.Кл, С 02Ь 27/32 с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам иэаоретений и открытий

УДК 535.822:535-88(088.8) Опубликовано 01.Х.1973. Бюллетень No 40

Дата опубликования описания 19.III.1974

Авторы изобретения А. А. Антонов, В. Г. Балымов, Г. А. Москалев и В. П. Тогулев

Заявитель

АВТОКОЛЛИМАЦИОННЫЙ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ

МИКРОСКОП

Предмет изобретения

Известны автоколлимационные фотоэлектрические микроскопы, содержащие оптическую и растровую системы для формирования автоколлимационного изображения марок, в которых растровая система выполнена из трех одинаковых по шагу амплитудных растров.

Два растра установлены по разные стороны от оптической оси и второй апланатической точки объектива, а третий — в промежутке между автоколлимационными изображениями первы двух и сдвинут на половину шага относительно их в своей плоскости.

Из-за большого количества взаимосвязанных тонких юстировочных подвижек растров такие микроскопы имеют недостаточную точность наведения.

В предлагаемом микроскопе первые два растра нанесены на одной из половин противополо>кных сторон плоскопараллельной пластины с оптической толщиной, равной расстоянию между растрами.

Благодаря такому выполнению микроскопа повышается точность наведения.

На фиг. 1 показана схема микроскопа; на фиг. 2 — внешний вид пластины.

Схема содержит объектив 1 с тубусной линзой 2, источник 8 света, конденсор 4, светофильтр 5, прозрачную пластину б, на которой нанесены непрозрачные штрихи 7 и 8, полупрозрачную пластину 9, растр 10, светодели2 тельную призму 11, фотодиоды 12, мостовую схему И, гальванометр 14, зеркало 15 (или зеркальноотра>кающий объект).

При освещении пластины б автоколлимационные изображения штрихов 7 и 8 расположены Ilo обе стороны от плоскости штрихов растра 10 и па равных расстояниях от нее, если положение зеркала совпадает с апланатической точкой объектива. Сдвиг зеркала 15 вдоль щ оси от среднего положения вызывает смещение изображений штрихов 7 и 8 относительно растра 10, в результате чего перераспределяются интенсивности пучков света, падающих на грани светоделительной призмы 11 и фотодиоды 12. Это вызывает появление тока в мостовой схеме И, который может быть использован как для регистрации расфокусировкн, так и для осуществления обратной связи в системе автоматической фокусировки.

Автоколлимационный фотоэлектрический микроскоп по авт. св. 284356, отличаюа1ийса

25 тем, что, с целью повышения точности наведеI ия, в нем первые два растра выполнены в виде непрозрачных штрихов, нанесенных на разные половины противоположных сторон плоскопараллельной пластины с оптической толщи30 ной, равной расстоянию между растрами.

400871

Фиг1

Фиг. 2

Составитель С. Степанова

Редактор Т. Рыбалова Техред Л. Грачева 1(орректоры Л. Новожилова и Л. Орлов»

Заказ 7049 Изд. № 1982 Тираж 551 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Загорская типография