Мтейтй^чгхвдчеонд! {^^-влгг^тенл

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

398864

Союз Советских

Социалистимеских

Республик .

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 02.II.1971 (№ 1622534/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Олубликовано 27.IX.1973, Бюллетень ¹ 38

Дата опубликования описания 8.1.1974

М. Кл. G 01п 25/58

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР ао делам изобретений и открытий

УДК 531.714.2 (088.8) Автор изобретения

Б. С. Явич

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе

Заявитель

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ ВЛАГИ

В ВОДОРОДЕ

Изобретсние относится к технологии полупроводниковых материалов и веществ высокой чистоты, к процессам, для проведения которых необходима атмосфера водорода с минимальным содержанием кислорода и влаги.

Известен способ определения концентрации влаги в водороде путем нагрева в анализируемой среде индикаторного образца, выполненного в виде циркониевой проволоки.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что по длине индикаторного образца создают температурный градиент в интервале температур 900 — 1400 C и по положению границы раздела исходный материал — окисел судят о концентрации влаги в водороде.

Это позволяет ускорить процесс определения концентрации влаги в водороде и повысить точность анализа.

Сущность способа заключается в следующем.

Индикаторный образец изготовляют из кремния и располагают на нагревателе таким образом, чтобы при нагреве по его длине устанавливался температурный градиент интервала 900 †14 С.

Далее через систему пропускают водород, предварительно очищенный от примесей. Затем следует нагрев в течение 5 — 15 чин. При высоких температурах нагрева происходит взаимодействис кремниевого образца с парами воды, причем более горячая часть образца травится вследствие образования летучей моноокисп кремния SiO, а более холодная покрывается конденсированной пленкой двуокиси кремния S10g. В результате после охлаждения на поверхности образца обнаруживают границу между травленным и окисленным участками. Положение этой границы в температурном градиенте однозначно определяет концентрацию воды в водороде при неизменности остальных параметров процесса.

Предмет изобретения

Способ определения концентрации влаги в водороде путем нагрева в анализируемой среде индикаторного образца, выполненного из материала, способного образовывать конденсированные окислы, отличающийся тем, что, с целью повышения точности анализа, создают температурный градиент по длине индикаторного ооразца, выполненного из кремния, в интервале температур 900 — 1400 С и по положению границы раздела исходный материал — о кисел судят о концентрации влаги в водороде.