Камера образцов для электронно-зондового микроанализатора

ОП ИСАЙИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Сонетских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

М. Кл. G 01п 23/22

Заявлено 01.Х11.1971 (№ 1719810/26-25) с присоединением заявки ¹â€”

Государственный комитет

Совета Мнннстров СССР ла делам изааретеннй и открытий

Приоритет

Опубликовано 17ЛХ.1973. Бюллетень № 37

Дата опубликования описания 13.II.1974

УДК 621.386(088.8) Авторы изобретения

С. П. Розов, А. М. Соловьев, В. Н, Верцнер, В. Д. Крупчаткин, В. Ф. Уваров, Г. А. Петрова и С. А. Топорков

Заявитель

КАМЕРА ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВОГО

МИКРОАНАЛ ИЗАТОРА

Изобретение относится к рентгсноспектральным приборам с узким электронным пучокэлектронным зондом для возбуждения в локальном участке образца характеристического рентгеновского излучения, по которому определяется химический состав в этом участке.

Известны камеры образцов для электроннозондовых микроанализаторов, в которых помимо объекта помещают эталоны, играющие роль внешнего стандарта при количественных измерениях концентрации элементов в микрообъемах образца; при этом образец и эталоны помещают на одной подвижной площадке столика образцов. Для замены образца эталоном и эталона образцом площадку перемещают прецизионным механизмом столика образцов.

Однако замена образца эталоном и ооратно происходит довольно медленно, так как механизм перемещения микрометрический, а линейные расстояния от образца до эталона большие. Кроме того, микрометрический .механизм подвергается ускоренному износу из-за частого подведения под электронный зонд.

Для установки образца в первоначальное положение после увода эталона нужно по отсчетным устройствам механизма столика выставить ранее отсчитанные координаты, что также замедляет и усложняет работу.

Цель изобретения — ускорение ввода эталонов под электронный зонд на место образца и вывода их из-под зонда, автоматизация возвращения образца в первоначальное положение после увода эталона и уменьшение износа прецизионного механизма столика образцов.

5 Предлагаемая камера образцов отличается тем, что столик образцов снабжен двумя каретками, первая из которых с образцами при вводе эталонов под электронный зонд отводится второй кареткой с эталонами. При вы10 воде эталонов из-под зонда образец автоматически возвращается в исходное положение.

На чертеже схематически показан микроан ализатор с подробным изображением дета15 лей механизма столика образцов.

Панцырь короткофокусной линзы снизу заканчивается частшо корпуса камеры образцов, к нижнему скосу которой на вакуумном уплотнении подсосдинена вторая часть корпуса

20 1 со столиком образцов.

Образец 2 располагают в держателе 3 на подвижной каретке 4, установленной на верхней площадке 5 механизма столика образцов.

Каретка 4 подтянута пружиной 6 к упору 7.

25 Столик образцов выполнен на упругих безлюфтовых параллелограммных механизмах, позволяющих точно перемещать образец по трем координатам х, у, z. Верхняя площадка

5 закреплена на упругих в направлении х

30 плоских пружинах 8, соединенных с площад397827

3 кой 9, которая жестко связан а с подвижной в направлении у площадкой 10.

Площадка 5 подтянута пружиной 11 через шарнирный упор к отсчетной,рукоятке 12.

Площадка 10 закреплена на упругих в направлении у плоских пружинах 13, соединенных с подвижной в направлении z стойкой 14.

Площадка 10 подтянута пружиной 15 через два шарнирных упора и двуплечий рычаг к винту отсчетной рукоятки 16. Стойка 14 на упорном шарнире 17 соединена с двуплечим рычагом 18, который также соединен упругим шарниром 19 с корпусом камеры 1 и упирается на установочный винт 20. Нижний конец стойки 14 соединен упругим звеном 21 с корпусом камеры 1.

Эталонны 22 располагают в держателе 23 на каретке 24, которая установлена на стойке 14 и подтянута пружиной 25 к толкателю 26 в корпусе камеры. Поверхности образца и эталонов находятся в одной плоскости.

Для ввода на место образца эталона нажимают на толкател ь 26 и прямолинейно перемещают каретку 24 с держателем эталонов

23. Каретка 24, подойдя к каретке 4, упором отводит ее вместе с образцом в сторону, Для установки нужного эталона толкатель 26 останавливается в положении, соответствующем положению данного этанола под электронным зондом. Названия или номера эталонов прочитываются на шкале толкателя.

4

Для отвода эталона и установки образца в первоначальное положен ие относительно электронного зонда толкатель 26 перемещают в обратном направлении. При этом под действием пружин 6 и 25 начинают перемещаться в обратном направлении каретки 4 и 24. Каретка 4 с образцом автоматически останавливается в исходном положении, дойдя до упора

7. Удары ее об упор гасятся установленным на ней центробежным тормозом (на чертеже не показан).

При вводе и выводе эталона прецизионный механизм перемещения образца по осям х и у находится в статическом положении.

Предмет изобретения

Камера образцов для электронно-зон дового микроанализатора, в корпусе которой,размещен столик дланя образцов и эталонов с механизмами перемещения, отличающаяся тем, что, с целью повышения оперативности анализа, столик снабжен двумя каретками с подвижными частями, одна из которых предназначена для образцов, а другая — для эталоБов, причем первая каретка подтянута пружиной к упору на подвижной части, а вторая установлена на подъемной части механизма перемещения столика, подтянута пружиной к толкателю, размещенному в корпусе камеры, и снабжена упором для отвода первой каретки.

397827

Составитель И. Петрова

Редактор Б. Федотов Техред А. Камышиикова Корректор Т, Добровольская

Заказ 224у2 Изд. № 90 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2