Смотровое окно для вакуумных камер

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”

М. Кл. С 23с 13/08

Заявлено 20. I V.1970 (№ 1424999/22-1) с присоединением заявки ¹â€”

Приоритет

Опубликовано 27.VII,1973. 1э,оллетснь, .й 32

Дата опубликоганпя описания 14.Х11.1973

Государственный комитет

Сонета Министров СССР по делам изобретений и открытий

УДК 621 793.14.002.51 (088.8) Авторы изобретения

В. А. пупка и В. Е. Минайчев

Заявитель

СМОТРОВОЕ ОКНО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ КАМЕР

2 .

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть применено в установках для вакуумной обработки материалов.

Известно смотровое окно для вакуумных камер, содержащee смотровое стекло, элементы герметизации и соединения его с вакуумной камерой и экран с отверстием. Экран выполнен подвижным, а стекло — неподвижным относительно вакуумной камеры, Однако наличие движущихся механизмов в условиях высокого вакуума и, в особенности, высоких температур снижает надежность установки в целом н, следовательно, у.мепьшает срок службы.

Цель изобретения — увеличение срока службы установки.

Достигается это тем, что экран жестко связан с вакуумной камерой, а смотровое стекло выполнено подвижным относительно экрана и соединено с вакуумной камерой посредством гибкого герметичного элемента.

На чертеже представлена конструкция смотрового окна.

Смотровое окно состоит из стекла l, закрепленного на рланце 2 с помощьно кольца 8 и герметично уплотненного уплотнительным кольцом 4. Смотровое стекло 1 с фланцем 2 соединены со станко;"; вакуумной камеры 5 посредством герметичного элемента — сильфона 6. Один конец этого сильфопа приварен к фланцу, а другой — к: вакуумной камере 5, на стенке которой неподвижно укреплен экран 7, имеющий форму усеченного конуса с отверстием а. Экран предохраняет основную площадь смотрового стекла от загрязнения испаряющимися в вакуумной камере материалами. Загрязнение: смотрового стекла происходит лишь на его участке, расположенном напротив отверстия в экране. С фланцем 2

10 связан механизм 8 перемещения смотрового стекла 1.

Устройство работает следующим образом.

По мере загрязнения участка смотрового стекла, расположенного напротив отверстия, 15 стекло с фланцем перемещают механизмом 8.

Таким образом можно проводить работу, периодически перемещая смотровое стекло 1 до полного загрязнения всей его площади.

Лишь после этого необходима разгерметиза20,ция камеры 5 для чистки стекла 1.

Для проведения кратковременных периодических наблюдений за процессами напротив отверстия а экрана 7 постоянно размещают один и тот же участок стекла 1. На период

25 кратковременного наблюдения стекло 1 с фланцем 2 перемещают с помощью механизма 8 и, установив пезагрязненный участок стекла 1 напротив отверстия, проводят наблюдение, после чего стекло 1 перемещают в ис30 ходное положение.

Направления перемещешш смотрового

392166

Предмет изобретения

Составитель Л. Анисимова

Техред Т. Ускова корректор В. Жолудова

Редактор Г. Туркова

Заказ 3310/10 Изд. ¹ 1810 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 стекла 1 указаны на чертеже стрелками.

Штрих- пунктирной линией показано одно из положений устройства |в про цессе работы.

Смотровое окно для вакуумных камер, содержащее смотровое стекло, элементы герметизации и соединения его с вакуумной камерой и экран с отверстием, отлича)ощесся тем, что, с целью увеличения срока службы, экран жестко связан с вакуумной камерой, а смотровое стекло установлено подвижным относительно экрана и ооединено с вакуумной камерой посредством гибкого герметичного элемента.