Способ изготовления цилиндрического керна
391639
СПИ :"АНИ Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от а1вт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 31.VI I 1.1971 (№ 1694666/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 25.V11.1973. Бюллетень №,31
Дата опубликования описания З.XII.1973
М. Кл. H Olj 9, 04
Государственный комитет
Соввта Министров СССР по делам изооретений и открытий
УДК 621.3,0i32(088.8) Авторы изобретения И. Л. Гандельсман, В. П. Лесняк, М. С. Турбин и И. П. Седельников
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКОГО КЕРНА
КАТОДА
Предмет изобретения
Известен способ изготовления цилиндрических кернов катодов методом фотолитографии из заготовки в виде перфорированной фольги. Электродную вставку при этом изготавливают механической обработкой. 5
Цель изобретения — повышение точности совпадения электродной вставки и перфораций в заготовке кернов катодов в виде фольги.
Для этого электродную вставку изготавли- 1п вают методом фотолитографии, используют фотошаблоп для заготовки кернов катодов с применением фоторезиста, противоположного по знаку фоторезисту, используемому при изготовлении заготовки кернов катода. 15
Предлагаемый способ изготовления электродной вставки осуществляют следующим образом.
Известным способом методом фотолитографии изготавливают заготовку цилиндрических кернов катодов в виде перфорированной фольги с использованием фотошаблона и позитивного фоторезиста. При изготовлении электродной вставки используют фотошаблон для заг:стопки кернов катодов с применением 25 фоторезиста, противоположного по знаку фоторезисту, используемому при изготовлении заготовки кернов катодов. Благодаря этому достигается высокая точность совпадения электродной вставки и перфораций в заготовке кернов катодов в виде фольги.
В дальнейшем при изготовлении кернов катодов полученную электродную вставку закрепляют в сварочном электроде, накладывают на нее участок заготовки в виде перфорированной фольги и сваривают заготовку в цилиндр по образующей.
Способ изготовления цилиндрического керна катода из заготовки перфорированной фольги, образованной методом фотолитографии путем сварки ее внахлест с фиксацией краев упомянутой заготовки в зоне сварки наложением их перфораций на ряд фиксирующих выступов плоской электродной вставки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности совпадения перфорации, фиксирующие выступы электроднсй вставки изготавливают методом фотолитографии с фотошаблоном, используемым при изготовлении заготовки керна катода, но с противоположным по знаку фоторезистом.
