Двупольный проектор

386371

О П И СА Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДИЕДЬСТВУ

Со сз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 11.1.1971 (№ 1610159/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 14.VI.1973. Бюллетень М 26

Дата опубликования описания 24.IX.1973

M. Кл. G ОЗЬ 21/10

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

CCCP

УДК 535 881 (088 8) Авторы изобретения

А. А. Гаврилкин и В. А. Кравченко

Заявитель

ДВУПОЛЬНЫЙ ПРОЕКТОР

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано в областях производственной практики, где требуется одновременное наб.тюдение на экране двух об.ьектов или двух участков одного объекта, а также в микроэлектронном производстве для проведения операций совмещения и базирования в процессе сборки, зондовом контроле фотошаблонов и интегральных схем.

Известные двупольные проекторы, состоящие из двух оптических проекционных систем, осветительных устройств и экрана, имеют сложную принципиальную оптическую систему.

Для упрощения оптической системы в предлагаемом проекторе в каждом проекционном канале в плоскости промежуточного изображения установлены полевые диафрагмы, причем края этих диафрагм, проходящие через оптическую ось, параллельны друг другу, а их изображения служат границей раздела наблюдаемых на экране полеи.

На чертеже представлена принципиальная схема описываемого проектора.

Два участка 1, 2 наблюдаемого объекта освещают источниками света 8, 4 с помощью конденсоров 5, б полупрозрачных зеркал 7, 8, отражательных зеркал 9, 10 и объективов 11, 12. Изображения этих участков объекта с реперными знаками совмещения И проецируются объективами 11, 12 (тубус «Бесконечность») и тубусными линзами 14, 15 в плоскость полевых диафрагм 16, li, которые

5 экранируют внешние половины промежуточных изображений наблюдаемых участков объекта. За полевыми диафрагмами 16, Ii установлены проекционные окуляры 18, 19, которые одновременно проецируют изображе10 ния полевых диафрагм в плоскость экрана

20 с помощью зеркал 21, 22, 28 и призмы

24 с зеркальными отражающими гранями.

Границеи раздела полей, наблюдаемых на экране проектора, служат изображения краев

15 полевых диафрагм, которые в процессе юстировки прибора с помощью поворотных зеркал

21 и 22 устанавливаются параллельными и соприкасающимися.

Сканирование изображений, наблюдаемых

20 участков объекта, осуществляется перемещением об.ьективов 11, 12 вместе с зеркалами

9, 10, При этом не нарушается фокусировка на экране проектора, Предмет изобретения

Двупольный проектор, состоящий из двух оптических проекционных систем, осветитель50 пых устройств и экрана, отличаюи(ийся тем, 38637l фрагм, проходящие через оптическую ось, параллельны друг другу, а их изображения служат границей р аздела наблюдаемых на экране полей.

1»

17 о б

Составитель A. Лебедева

Текред Л. Грачева

Корректор А. Дзесов»

Редактор С, Хейфиц

Заказ 2551,!2 Изд.."тв 1647 Тираж 523 Подписное

ЦНИИПИ Коиитста по дспаз изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-З5, J :i шская наб., д. 4, 5

Типо p<10)iiil, пр. Сапунова, 2 что, с целью упрощения оптической системы, в каждом проекционном канале в плоскости промежуточного изображения установлены полевые диафрагмы, причем края этих диа ф

2Ð