Вакуумная камера
ОП И САH И EI383976
t:oItIa Советских
Социалистических
Ц С1ЬРЕТЕ mS
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 20Х11.1970 (№ 1459944/24-6) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 23.V.1973. Бюллетень ¹ 24
Дата опубликования описания 27ЛтIII.1973
М. Кл, F 25d 13/04
Комитет по делам изобретений н открытий лри Совете Министров
СССР
УДК 621.565 (088.8) Авторы изобретения
А. E. Янов, Ю. П. Коротов и Н, Н. Багров
Заявитель Физико-технический институт низких температур АН Украинской ССР
ВАКУУМНАЯ КАМЕРА
Предмет изобре гения
Известны вакуумные камеры для испытан ия изделий, содержащие корпус с нагревателями: внутри и держатель для испытываемого объекта, сн а бженный охлаждаемыми элементами и экраном.
Цель изобретения — повышение качества испытаний.
Это достигается тем, что 3 предлагаемой
Вакуумной камере экран установлен с возMîæíîñòüþ осевого перемещения для фиксации его вокруг изделия в период тренировочного .прогрева и установки за пределами изделия в,процессе иопытаний. Охлаждаемые элементы встроены в корпус держателя.
На фиг. 1 схематически изображен а предлагаемая камера; на фиг. 2 — разрез по, А — Л на фиг. 1.
Камера содержит корпус 1 с размещенными внутри нагревателями (на чертеже не показаны), конденсационным насосом 2, азотными экравирующими,поверхностями 8;и 4.
Испытываемое изделие размещено на держателе 5, снабженном охлаждаемыми элементами в корпус держателя.
Внутри камеры предусмотрен цилиндрический экран 7, установленный с возможностью осевого перемещения на штоке 8. Шток уплотнен фторопластовой втулкой 9, поджимаемой
5 резиновыми кольцами 10. Экран, 7 снабжен охлаждаюн1им змеевиком 11. В период тренировочного прогрева экран фиксируется вокруг изделия 12, а в .процессе испытания — за пределами изделия.
Вакуумная камера для испытания изделий, например полупроводниковых приборов, со15 держащая корпус с нагревателями внутри It держатель для испытываемого объекта, снаб-, женный охлаждаемымн элементами и эк раном, от.тичатоа1аяся тем, что, с целью повышеI.ия качества испытаний, экран установлен с
20 возможностью осевого перемещения для фиксации его вокруг изделия в период тренировочного прогрева и установки за пределамн изделия в процессе иопытаний, а охлаждаемые элементы встроены в корпус держателя.
Фиг 1
Составитель Ю. Мартинчик
Техред 3. Тараненко Корректоры; Е. Давыдкина и М. Коробова
Редактор E. Караулова
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 2222/17 Изд. № 1554 Тираж 576 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, )1(-35, Раушская паб., д. 4/5
