Ьиеоиюзная

ОriИ|-АHИЕ ЗВЗОаЬ союз Советских

Социалистических

Республик

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 04Л.1971 (№ 1621879/18-24) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 23.V.1973. Бюллетень № 23

Дата опубликования описания 27.IX.1973

М. Кл. G 06f 9 00 йамитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 681.326.3 (088.8) Авторы изобретения

Л. И Шапиро и 1О И Шендерович

Заявитель

СИСТЕМА ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ПРОИЗВОДСТВОМ

ФОТОШАБЛОНОВ

Изобретение от носится к вычислительной технике.

Известны системы для управления производством фотошаблонов при изготовлении соединений интегральных схем, частей схем или групп схем, содержащие фотошаблонные машины, вычислительную машину, блоки управления перемещениями координатных столов фотошаблонных машин, устройство ввода— вывода и систему прерывания программ.

Однако в таких системах отсутствует непрерывный контроль за процессом изготовления фотошаблонов.

Для обеспечения непрерывного контроля изготовления фотошаблонов в состав предлагаемой системы введены блоки счетчиков и регистр, причем первые входы блоков счетчиков соединены с соответствующими выходами блоков управления перемещениями координатных столов, вторые входы блоков счетчиков подключены к выходу процессора, первые выходы блоков счетчиков подсоединены к соответствующим входам устройства прерывания программ, а вторые выходы — к входу процессора, первый вход регистра соединен с фотонаборными машинами, второй вход подключен к выходу процессора, а выход — к его входу .

На чертеже изображена блок-схема предлагаемой системы для управления производством фотошаблонов.

Система содержит процессор 1, устройство

2 ввода — вывода; устройства 3, 4 и 5 управления перемещениями координатных столов, каждый из которых состоит из схемы управления двигателями и четырех приводов двух координатных столов соответствующей фотошаблонной машины; блоки б, 7 и 8 счетчиков, содержащие по четыре счетчика для подсчета сигналов перемещений двух столов; m-раз10 рядные двоичные счетчики 9 — 12 сигналов перемещений координатных столов, где лч— число разрядов, определяемое требованием синхронизации ч".ñòîòû выдачи сигналов перемещений и возможной частоты обращений

1 ЦВМ к счетчикам, которая, в свою очередь, определяется загрузкой ЦВМ 1(ln п., где n — число разрядов, необходимых для подсчета количества сигналов при максимальном перемещении координатного стола; уст20 ройство 13 прерывания программ; фотонаборные машины 14, 15 и 1б; регистр 17 для фиксации сигналов выполнения экспонирования.

Управление изготовлением фотошаблонов осуществляется процессором 1 в соответствии

25 с программой и числовой информацией, поступающей из устройства 2 ввода — вывода.

На основании полученной информации процессор вычисляет величины необходимых перемещений координатных столов и выдает

ЗО команды в устройства 8, 4 и 5. Каждое из 38 ЗЮ46

З5

55 этих устройств управляет перемещениями двух координатных столов по двум направлениям.

Координатные столы перемещаются при помощи ша говых двигателей, на вход которых для осуществления вращения вала двигателя выдаются импульсные сигналы. В ходе обработки необходимых переме|цений, заданных по команде из процессора, импульсные сигналы, управляющие вращением вала шагового двигателя, одновременно поступают на первые входы соответствующих блоков 6, 7 и 8 счетчиков. Счетные входы счетчиков 9 — 12 соединены с соответствующими цепями управления четырьмя щаговыми двигателями.

Вместо таких соединений счетные входы счетчиков 9 — 12 могут быть подключены к выходам специальных датчиков, которые обеспечивают выдачу импульсов при вращении двигателей.

Независимо от подсоединения входов счетчиков 9 — 12 в ходе отработки требуемых перемещений эти счетчики подсчитывают число импульсов, поступающих на их входы. Аналогично с блоком 6 счетчиков работают блоки

7 и 8.

Если переполнение счетчика наступает раньше прекращения подачи им пульсов на его вход, то по сигналу,переполнения, поступающему на соответствующий вход устройства

18 прерывания, процессор осуществляет сложение .поступившего сагнала переполнения с суммой .предыдущих сигналов перепол нения. Если отработка каким-либо столом необходимого перемещения по какой-либо координате заканчивается раньше переполнения соответствующего счетчика, то с одного из выходов соответствующего устройства 8, 4 и

5 на соответствующий вход устройства, 18 поступает сигнал. По этому сигналу процессор принимает информацию с одного из счетчиков.

В результате получения информации с выходов блоков 6, 7 и 8 счетчиков процессор вычисляет текущие координаты столов всех фотонаборных машин 14, 15 и 16.

Путем программного сравнения требуемых координат столов и полученных ЦВМ определяет правильность отработки, заданных перемещений. В случае обнаружения расхождений, происшедших в результате сбоев в каком-либо участке всей системы, процессор определяет код необходимой корректировки и выдает дополнительную команду на перемещение соответствующего стола согласно полученному корректировочному коду. Кроме этого, полученная процессором информация может обрабатываться и выдаваться в устройство 2 ввода-вывода для пробивки перфоленты. Полученная таким образом перфолента для контроля, правильности работы системы управления может затем сравниваться с перфолентой, которая использовалась для ввода информации в машину, После выдачи из какого-либо устройства 8, 4 и 5 в устройство 18 прерывания сигнала окончания отработки заданных перемещений процессор контролирует правильность отра ботки, а затем выдает команду на фотонаборные машины 14, 15 и 16 для экспонирования найденного коммутационного варианта на фотопластину для получения фотоша блона интегральной схемы. После выполнения экспонирования с выхода соответствующей фотонаборной машины на один из входов регистра

17 поступает сигнал, Одновременно этот сигнал подается в устройство 18 прерывания.

По сигналу управления процессор считыва.ет информацию из регистра 17 и проверяет ее. При нормальной работе фотонаборных машин 14, 15 и 16 процессор выдает команду установ|ки в триггерах регистра 17 состояния

«О».

Таким образом, в ходе изготовления фотошаблонов осуществляется контроль их производства.

Предмет изобретения

Система для управления производством фотошаблонов, содержащаяся процессор, подключенный к устройству ввода — вывода, устройству прерывания программ и через устройства управления перемещениями координатных столов — к фотонаборным машинам, выходы которых подсоединены к устройству прерывания программ, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения непрерывного контроля изготовления фотошаблонов, в состав системы введены блоки счетчиков и регистр, причем первые входы счетчиков соединены с соответствующими выходами блоков управления перемещениями координатных столов, вторые входы блоков счетчиков подключены к выходу процессора, первые выходы блоков счетчиков подсоединены к соответствующим входам устройства прерывания программ, а вторые выходы — к входу процессора, первый вход регистра соединен с фотонаборными машинами, второй вход подключен к выходу процессора, а выход — к его входу.

883646

Редактор T. Иванова

Заказ 2298/11 Изд. № 613 Тираж 647 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель Н. Гузенкова

Техред Е. Борисова

Корректоры: А. Дзесова и Г. Запорожец