Патент ссср 381622
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
38I622
Союз Советских
Соклалистлческик
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 07Л .1971 (Ле 1655960 29-33) Ч. Кл. С 03с 17/30 с присоединением заявки ¹â€”
Приоритет
Опубликовано 22Х.1973. Бюллстень ¹ 22
Дата опубликования описания 13ХН1.1973
Комитет ло делам изобретений и открытии лри Совете Министров
УДК 666.1.056:546.
284-31 (088.8) Авторы изобретения
Б. А. Шапочкин, В. Н. Сергеев, Г. И. Голубева,:, Г. В. Хорол и А. А. Осипова
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ АСФЕРИЧЕСКИХ
ПОВЕРХНОСТЕЙ
Предмет изобретения
Изобретение может быть использовано в оптическом приборостроении для изготовления асферических деталей.
Известен способ получения оптических асферических поверхностей путем нанесения на заготовку разделительного асферизующего слоя из моноокиси кремния в вакууме.
Для повышения прочности и влагостойкости покрытия предлагается способ, по которому заготовку предварительно нагревают до 300-—
400 С, а асферизующий слой наносят при температуре около 30 С.
Наносят а сфер изующий слой моноокиси кремния термическим испарением в вакуумной камере в два этапа: сначала на предварительно нагретую до 300 — 400 С загоговку осаждают равномерный подслои моноокиси кремния толщиной не менее 0,2 мкм, затем через профилирующую маску осаждают разнотолщинный основной асфернзующий слои моноокиси кремния на заготовку при температуре около
30 С.
Разделение процесса нанесения слоя на два этапа и использование в качестве подслоя и основного асферизующего слоя одного и того же вещества моноокнси кремния позволяет получать слои с заданным профилем асферической поверхности с хорошей механической прочностью и высокой влагостойкостью.
Способ получения оптических асферических поверхностен путем нанесения на заготовку
15 разделительного асферизующего слоя из моноокиси кремния в вакууме, отличатощайся тем, что, с целью повышения прочности и влагостойкости покрытия, заготовку предварительно нагревают до 300 — 400 С, а асферизу20 ющий слой наносят при температуре около 30 С.
