Сплав для изготовления тонкопленочиых

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

768!6

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 08.к 1.1971 (,% 1666792, 26-9) с присоединением заявки ¹â€”

М. Кл. Н 01с 7/02

Комитет по делам изобретений и открытий при Спеете й1инистров

СССР

Приор.итет—

Опуоликовано 05.И,1973. Бюллетень . с 17

Дата опубликования описания 21 VI.1973

УДК 621.316.849(088.8) Авторы изобретения

H. М, Кондратов, К. Г. Марин, И. В. Рогова, Г. С. Тюрин, С. A Грамм, В. И. Минаков и В. Е. Хавкин

Заявитель

СПЛАВ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ

РЕЗИСТОРОВ

52 — 60

34 — 47

1 — 6

Хром

Кремний

Вольфрам

Изобретение относится к области материалов для изготовления радиодеталей, используемых в микроэлектронике, в частности тонкопленочных резисторов с определенной температурной зависимостью сопротивления.

Известен сплав для изготовления тонкопленочных резисторов, содержащий хром, кремний и вольфрам. Однако резисторы, полученные на основе этого сплава, нельзя использовать для термокомпенсации отрица- .0 тельного температурного коэффициента параметров транзисторов, диодов, ферритов и других элементов схем, так как ТКС этих резисторов хоть и положителен по знаку, но недостаточно велик по абсолютной величине. 15

Кроме того, для получения стабильных резисторов с положительным ТКС () 10 зград- ) требуется отжиг при высокой температуре (600 †8 С), который недопустим в случае тонкопленочных резисторов с удельным поверхностным сопротивлением 10 †2 ом на о квадрат, имеющих толщину 700 — 800 А.

Цель изобретения — получение резисторов с большим положительным значением температурного коэффициента сопротивления, постоянным в диапазоне температур от— (минус) 60 до + 150 С. Это достигается тем, что исходные компоненты сплава взяты в следующих соотношениях (в вес. %): зо

Предлагаемое соотношение компонентов позволяет получить тонкопленочные термокомпенсационные резисторы с величиной ТКС

10 — з град — и высокой стабильностью свойств во времени.

Включенные в интегральную схему упомянутые резисторы значительно улучшают ее раоочие характеристики за счет компенсации отрицательной температурной зависимости параметров полупроводниковых приборов, трансформаторов и других элементов.

Пример. Сплав, содержащий, вес. %; хрома 56, вольфрама 5 и кремния 39, получают сплавлением чистых компонентов (крем ния, хрома и вольфрама) на воздухе в кварцевом тигле с применением высокочастотного индукционного нагрева. Он может быть получен в виде литых пластин, стержней или порошка с определенной крупностью.

Для получения резистивных пленок методом вакуумно-термического нанесения сплав используют в виде порошка с крупностью частиц 0,03 — 0,08 мм, испаряемого с вольфрамовой. (танталовой, молибденовой) лодочки, нагреваемой проходящим электрическим током до 1800 — 1900 С. Порошок неПредмет изобретения

Хром

Кремний

Вольфрам

52 — 60

34 — 47

1 — 6

Составитель Е. Ковалева

Техред T. Курилко

Корректор О. Усова

Редактор О. Чижова

Заказ 332/1081 Изд. № 466 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент> прерывно и равномерно подают на нагретый испаритель с помощью вибрационного дозатора. Испарение осуществляют в вакуумной камере при остаточном давлении менее

2 10 лл рт. ст. При скорости нанесения о

300 — 500 А/мин на ситалловой (CT — 50 — 1) полированной по 13 — 14 классу подложке, нагретой до 360 — 380 С и находящейся от испарителя на расстоянии 275 м.я, конденси руется пленка, которая непосредственно после нанесения подвергается термостабилизации в вакууме путем 25 — 30 лин выдержки при 360 С, Затем подложка с пленкой охлаждается .в вакуусме до 300 С и производится напуск воздуха в вак мную камеру, В качестве контактных площадок наносят двухслойную пленку хром-медь.

Получают резистор, имеющий следующие парамерты:- удельное сопротивление (при толщине 800 А) 50 ол/квадрат, температурный коэффициент сопротивления в интервале

20 —: 125 С 1,8 10 "град- ; удельная мощность рассеяния не менее 2 8T/col

Сплав для изготовления тонкопленочных резисторов, содержащий хром, кремний и вольфрам, отличающийся тем, что, с целью получения резисторов с большим положительным значением температурного коэффициента сопротивления, постоянным в диапазоне температур от — (минус) 60 до + 150 С, исходные компоненты сплава взяты в следу-!

oùHõ соотношениях (в вес. %):