Устройство для ориентированной резки монокристаллов
О П И С А Н И Е 376235
ИЗОБРЕТЕНИЯ
И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Саиз Советских
Сопиалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства Xп
Заявлено 14.I V.1971 (аде 1658285/29-33) с присоединением заявки М
Приоритет
Опубликовано 05.1V.1973. Бюллетень Kе 17
Дата опубликования описания 17.VII.1973
М. Кл. В 28d 5/02
Комитет по делам иэопретеиий и открытий при Совете Мииистрав
СССР
УДК 679.89.002.5 (088.8) Авторы изобретения А. Ю. Малинин, Ю. М, Украинский, Б. Н. Ушков, И. П. Коровин, В. В. Ермаков и В. П. Сверлов
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТИРОВАННОЙ РЕЗКИ
МОНОКРИ СТАЛЛОВ
Изобретение может быть использовано на предприятиях, занимающихся производством полупроводниковых структур или приборов и схем на их основе.
Известно устройство для ориентированной резки монокристаллов, содержащее основание, поворотный кронштейн со шкалой и держатель слитка.
Текстолитовая оправка предназначена для приклейки слитка и крепится в неподвижном гнезде одного из кронштейнов.
Однако такое устройство не может широко использоваться в промышленном производстве интегральных схем на структурах со «скрытым» слоем, ввиду отсутствия фиксированного поворота слитка на 90 С, что не позволяет производить резку слитка по двум взаимноперпендикулярным направлениям без дополнительной операции — переклейки слитка.
Кроме того, у этого устройства при ориентированной резке за счет введения дополнительной операции (переклейка слитка) снижается производительность. А в связи с большим числом контрольных резов при введении необходимых поправок для получения заданной точности ориентации происходит большой расход дорогостоящего материала.
Цель изобретения — обеспечить резку слитка по двум взаимно-перпендикулярным направлениям при сокращении времени обработки и уменьшить расход монокристаллов.
Это достигается тем, что держатель слитка
Б смонтирован с возможностью поворота его на
90 и фиксации с помощью фиксатора в вырезах кронштейна, который соединен с основанием посредством оси.
Сущность изобретения поясняется черте10 жом, Устройство имеет основание 1, поворотный кронштейн 2, держатель 8 слитка, стопорные винты 4, фиксатор 5 и ось б.
Поворотный кронштейн и основание имеют
1S шкалу с конусом для отсчета углов поворота пилы в диапазоне 1-10 С точностью 10 ман.
Поворот и закрепление кронштейна в требуемом положении производится стопорными винтами 4.
20 Держатель 8 слитка А состоит из спутника и поворотного основания. Спутник изготовлен из текстолита и предназначен для наклейки слитка. Он закрепляется на поворотном основании винтами. Поворотное основание имеет
25 ось для подвижного соединения с кронштейном 2 и вырезы под фиксатор б, обеспечивающие поворот слитка на 90 с точностью
+-10 мин вокруг оси Y — У. Закрепление поворотного основания в фиксированном положе30 нии производится гайкой.
376235
ЦНИИПИ
Заказ 2150/1 Чзд. ¹ 462 Тираж 676 Подписное
Типография, п р. Сапунова, 2
Предлагаемое устройство позволяет производить на стандартных станках с внутренней режущей кромкой резку монокристаллов на пластины, ориентированные по двум взаимноперпендикулярным направлениям с точностью 30 мия, и с минимальными потерями материала и времени.
Порядок выполнения операций на станке с устройством для ориентированной резки монокристаллов следующий.
Сначала проводят предварительную ориентацию слитка на рентгеновском дифрактометре с нахождением направления резки (плоскость). Затем режут слиток по базовой плоскости и проверяют ориентацию контрольного среза по отрезанной пластине. Далее корректируют положение слитка разворотом вокруг осей У вЂ” У и Z — Z и разрезают его по базовой плоскости в направлении с заданной точностью.
После этого слиток с держателем 8 разворачивают вокруг оси У вЂ” У на 90 и поворачивают его вокруг оси Х вЂ” Х для установки плоскости базового среза перпендикулярно плоскости пилы.
Затем поворачивают слиток вокруг оси
Z — Z на угол, равный углу корректировки, и устанавливают плоскость пластины реза параллельно плоскости пилы.
Определяют точность ориентации слитка в
Направлении по отрезанной пластине и вводят необходимые поправки в ориентацию слитка поворотом его вокруг осей Z — Z u
У вЂ” У.
Проводят разориентацию слитка в направлении с точностью +30 мин вращением вокруг оси Z — Z и режут его на пластины.
1О Число контрольных резов при использовании устройства для ориентированной резки сокращается (до 1 —:2) и не зависит от квалификации оператора.
Предмет изобретения
Устройство для ориентированной резки монокристаллов, содержащее основание, пово20 ротный кронштейн со шкалой и держатель слитка, отличающееся тем, что, с целью обеспечения резки слитка по двум взаимно-перпендикулярным направлениям при сокращении времени обработки и уменьшения расхода
25 монокристаллов, держатель слитка смонтирован с возможностью поворота его на 90 и фиксации с помощью фиксатора в вырезах кронштейна, который соединен с основанием посредством оси.