Способ изготовления пленочных магнитных индуктивных элементов

т

„,",СЕСоюэндя М

ПЯТг;.;; /т

СПИ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 22.VII.1971 (№ 1683810/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 20.111.1973. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 28.V.1973

М. Кл. Н 011 41/14

Н 05k 3/Об

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.396.662.2(088.8) Авторы изобретения P. Д. Нуралиева, А. П. Парсанов, T. М. Маренкова и Н. И. Телегина

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ МАГНИТНЫХ

ИНДУКТИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ

Изобретение относится к микроминиатюризации радиокомпонентовх а, именно к способу изготовления плоских высокочастотных и им-. пульсных трансформаторов, индуктивностей, дросселей и других магнитных элементов, пригодных для использования в интегральных схемах.

Известны способы изготовления пленочных магнитных индукти вн ых элементов, включающие нанесение многослойных магнитных диэлектрических и проводящих пленок на фольгу, например, методом вакуумного напыления с последующим изготовлением обм оток фотолитографией, Целью изобретения является сокращение веса, улучшение удельных характеристик, повышение надежности, более эффективное использование рабочего объема при монтаже плоских индуктивных элементов совместно с пленочными микросхемами, уменьшение трудоемкости и повышение точности их изготовления.

Это достигается тем, что на фольге одновремен но с двух сторон с помощью двух склеенных по трем сторонам фотошаблонов выполняют рисунки: с одной стороны — полуобмоток, а с другой — диэлектрика. На сторону с рисунком диэлектрика наносят магнитную, диэлектрическую и сплошную металлическую пленки. Затем, совмещая ранее

2 нанесенный на фольгу рисунок первых половин обмоток с рисунком фотошаблона, состоящего из двух склеенных по трем сторонам фотошаблонов обеих половин обмоток. получают рисунок второй половины обмоток на другой стороне заготовки, после чего осуществляют одновременное травление обеих ее сторон.

Способ осуществляют следующим образом.

1р На проводящую фольгу — нижний проводящий слой — одновременно с двух сторон методом фотолитографии наносят рисунок из фоторезиста, Для этого фольгу, покрытую фоторезистом с обеих сторон, вкладывают в карман, выполненный из двух фотошаблонов, совмещенных с большой точностью под микроскопом. Один из фотошаблонов имеет рисунок полуобмоток, а другой — рису но к изоляции, Далее фольгу экспонируют, выни20 мают из кармана и проявляют. Затем на фольгу со стороны, где фоторезист имеет рисунок изоляции, наносят следующие необходимые слои, например, методом вакуумного напыления.

25 Фоторезист, имеющий рисунок изоляции, может при этом выполнять роль самой изоляции, поэтому фазу на него наносят через соответствующий трафарет многослойной магнитной пленки. Потом наносят изоляцию, 30 имеющую площадь большую, чем площадь

374667

Составитель Е. Ковалева

Техред Е, Борисова Корректор Е. Сапунова

Редактор Л. Народная

Заказ 1441/11 Изд. № 370 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 указанной магнитной пленки, и верхний проводящий слой из такого же материала, что и материал фольги., полностью перекрывающий последний слой изоляции.

В получен ной заготовке одновременно из верхнего и нижнего замкнутых между собой проводящих слоев создают методом фотолитографии обмотки плоского индуктивного элемента. Для этого на многослойную заготовку наносят фоторезист со стороны верхнего проводящего слоя и вкладывают ее в другой карман, выполненный из двух совмещенных фотошаблонов, имеющих рисунки полуобмоток так, чтобы рисунок одного из них, такой же как и рисунок полуобмоток, уже имеющийся на фольге, совпал с последним. Получают рисунок полуобмоток на верхнем проводящем слое заготовки и выполняют травление сразу верхнего и нижнего проводящих слоев. В результате чего получают готовый плоский магнитный элемент (трансформатор, дроссель, индуктивность и т. д.), имеющий суммарную толщину в несколько десятков микрон и соответственно очень малый вес.

Для изготовления плоских магнитных индуктивных элементов по предлагаемому способу не требуется специально разработанной оснастки. Элементы могут быть изготовлены на том же оборудовании, которое используется для производства интегральных схем, и смонтированы с последними в одном корпусе, занимая пустующий технологический объем.

Предмет изобретения

Способ изготовления пленочных магнитных индуктивных элементов, включающий нанесение многослойных магнитных диэлектрических и проводящих пленок на фольгу, 10 например, методом вакуумного напыления с последующим изготовлением обмоток фотолитографией, отличающийся тем, что, с целью сокращения веса, повышения надежности, более эффективного использования

15 рабочего объема при монтаже плоских индуктивных элементов совместно с плен очными микросхема ми, уменьшения трудоемкости и повышения точности их изготовления, на фольге одновременно с двух сторон с по20 мощью двух склеенных между собой по трем сторонам фотошаблон ов выполняют с одной стороны рисунок полуобмоток, а с другой— рисунок диэлектрика, на который наносят магнитную, диэлектрическую и. сплошную ме25 таллическую пленки, а затем, совмещая ранее нанесенный на фольгу рисунок первых половин обмоток с рисунком фотошаблона, состоящего из двух склеенных по трем сторонам фотошаблонов обеих половин обмоток, 30 получают рисунок второй половины обмоток на, другой сторонке заготовки, после чего осуществляют одновременное травление обеих ее сторон.