Способ определения удельного сопротивления резистивных пленочных микросхем
ОП И САНИ Е
ИЗОЬВИтИНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 25.ЧШ.1970 (№ 1470026/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 20.111.1973. Бюллетень № 15
Дата опубликования описания 28.IV.1973
М. Кл. 6 01г 27/00
Комитет по делам нзооретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.317.723 (088.8) Автор изобретения
А. Д. Аврутин
Заявитель
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ
РЕЗИСТИВНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ МИКРОСХЕМ
Изобретение относится к электроизмерительнои технике и может быть использовано для контроля удельного сопротивления слоя материала на изолирующеи подложке, покрытого слоем значительно оолее проводящего материала, например в производстве резистивных пленочных микросхем способом двойной литографии (гравировки).
Известен способ измерения удельного сопротивления слоя материала на изолирующей подложке, согласно которому, измерение проводят до покрытия его слоем более проводящего материала.
Этот способ значительно усложняет как процесс измерения, так и технологию изготовления резистивных пленочных микросхем.
Предлагаемый способ повышает точность и упрощает процесс измерения удельного сопротивления, Цля этого,в качестве образцового резистора используют рабочую плату микросхемы, а электроды резистора изготовляют одновременно с рисунком слоя коммутации данной схемы.
На,фиг. 1 показан разрез участка подложки, на котором создан измеряемый образец резистора с электродами в виде двухсвязной области; на фиг. 2 — тот же участок подложки, вид сверху.
На изолирующую подложку 1 нанесен слой материала 2, удельное сопротивление которо2 го требуется определить. Он покрыт сверху слоем значительно более проводящего материала.
Ь слое последнего с помощью того или другого способа гравировки, например спосооом фотолитографии, может быть удалена часть материала в виде, кольца, благодаря чему образуется, резистор кольцевой формы с электродами в,виде двухсвязной области (внешт0 ний электрод д, внутренний электрод 4). Сопротивление данного резистора пропорционально удельному сопротивлению исследуемого слоя р., а коэффициент пропорциональности определяется формой кольцевои обла15 сти и характеризующими ее геометрическими параметрами. Например, для резистора с электродами в виде кругового кольца, с внешним радиусом гт и внутренним радиусом r2 сопротивление R определяется .как
20 к= р /u — -.
r2
2к r, Так,как проводимость электродов предполагается значительно более высокой, чем для
2S исследуемого материала, та сопротивлением электродов можно, пренебречь. Измери в с .помощью зондов, поставленных на электроды 8 и 4, сопротивление К и зная коэффициент пропорциональности для заданной формы
30 электродов, можно оппеделить величину р,.
374552
Предмет изобретения ч" и g
Составитель Т. Афонина
Техред Т. Курилко Корректоры: Т, журавлева и 3. Тарасова
Редактор Е. Гончар
Заказ 1136/16 Тираж 755 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Способ определения удельного сопротивления резистивных,пленочных микросхем, представляющих собой слой материала на изолирующей подложке, покрытого слоем значительно более проводящего материала, основанный на контактном методе измерения элек4 тродами в виде двухсвязной области (например, 1B,виде кругового кольца), отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения процесса измерения, m качестве образцового резистора .используют рабочую плату
MHIKpoсхемы, а электроды резистора изготовляют одновременно с рисунком слоя коммутации данной схемы.
