Тепловой блок вакуумной установки для нагревания подложек в кассетах

37l6l2

СПИ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Со!оп Совоток1ьт

Социал иотичеокиа

Рвопублив

Зав1симое от авт. свидетельс1в 1 № —."5аявлено 25.Vill.1970 (№ 1470061, 18=24),"5 1.Кл, 6 11с 5/02 с присоединением заявтои %в

Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Совете 1т1иииотрое

СССР

При,ор,итет—

Опубликовано 22 11.1973. Бюллетень ¹ 12

УД К 681.327.6 (088.8) Дата опубликования описания 7.Vill.1973

Авторы изобретешгя

В. В. Звягинцев и В, В. 3орин

Ордена Ленина Институт кибернетики AH Украинской ССР

Заяг1ител1, ТЕПЛОВОЙ БЛОК ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКИ ДЛЯ НАГРЕВАНИЯ

ПОДЛОЖЕК В КАССЕТАХ

11зобрстепис относится к области техноло1»1и изготовления запоминающих устройств для электронных, вычислительных машин.

Известны тепловые блоки вакуумных установок для нагревания подло кек в кассетах, которые содержат массивный полый параллелепипед с горизонтальными направляющими пазами для перемещения кассет с подложками, снаружи которого расположен нагреватель. Весь тепловой блок неподвижно закреплен внутри вакуумной установки в ее вакуумной камере.

Однако такие тепловые блоки пе обеспечивают из-за пх массивности! и большой теплоемкости (т. е. тепловой инерции) быструю смену температуры подложек с матрицами при их термообработке, что сказывается II» качестве матр. щ, а длительный процесс перехода при термообработке от одной температуры к другой приводит к неконтролируемым изменениям свойств тонких магнитных пленок и не позволяет эффективно и оперативно управлять процессом термообработки. Все это снижаег производительность вакуумных установок и качество пленок. Кроме того, к снижению производительности приводит и непроизводительная затрата времени на самопроизвольное остывание теплового блока.

Цель изобретения — улучшение качества

ПОДЛО5КЕК.. =1то достигается тем, что тепловой блок co;Icp»<èò спет с му прин5 дительного охлаlгкдсип51 в виде трубок, встроенную в боковые стен!си полого параллелепипеда.

5 На чертеже покаазна конструктивная схема вакуумной установки с предлагаемым теп.новым блоком.

Она состоит из вакуум11ой камеры 1, испарптелей 2, теплового блока 5 с нагревателем 4, 1п кассетами б для крепления подложек и системой б принудительного охлаждения в виде трубок, встроенной в боковые стенки, кассетоприемпика 7, катушек 8 Гельмгольца и аппаратуры 9 для контроля параметров технологичес16 кого процесса.

Предлагаемый тепловой блок 5 вакуумно "l установки выполнен в виде массивного полого

11»раллелепипеда пз меди илп нер>каве1о1це11 стали с горизонтальными направляющими п»2Î замп для перемеще1шя кассет с подложками.

11агреватель 4, установленный снаружи теплового блока, изготовлен в виде электрической спирали в керамических изоляторах, на

25 которую надет тепловой экран — медный или молибденовый кожух.

В боковые стеньки параллелепипеда с внешней стороны встроена система б принудительного охлаждения в виде трубок. Трубки могут з0 быть приварены и боковым стенкам либо раз371612

Предмет изобретения

Составитель В. Ваиар

Текред Д. Грачева

Ко15ректор Е, Сапунова

Редак1ор И. Грузова

Заказ 2503 Изд. № 1205 Тира>к 576 1,о тписиое

ЦНИИПИ Комитета по делам изоорстеиий и открытий ири Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Рау5иская иао., д. 4,!5

Загорская типография

3 мвщены в выборках внутри стенок, выполненных из двух половин.

Другой вариант системы принудительно! о охлаждения — это азотно-или водоохлаждаемая рубашка, расположенная под нагревателем .вокруг массивного полого параллелепипеда.

Весь тепловой блок неподвижно закреплен внутри вакуумной установки в ее вакуумной камере.

Предлагаемый тепловой блок имеет однородную зону нагрева, в которой размсщаетс» большое, количество подло5кек пли образцов, позволяет эффективно п оперативно управлять термообработкой (температурным режимом) пленок, исключив длительные процессы перехода от одной температуры к другой, сш!зита к минимуму неконтролируемые изменения свойств пленок, улучшить их качеств!о и увеличить выход годных матриц, т. е. повысить производительность, а тактике снизить непроизводительныс затраты времени на окончательное охлажден!!е теплового блока.

10 Тепловой блок вакуумной установки для нагревания подложек II кассетах, состоящий из полого иараллслсии! Iå,50 с гор!ьзоитальнымII и 11и1 явл55!О щи ми и!13 !!а!и, Отл!!!!!!IО!!1!1!!ся те 1, I T о, с ц(.л ыо у л у и ш е и и 51 к а Iñ с т В а п одл о ж е к, 15 он содержит систему принудительного охлаждения в виде трубок, встроенную в боковыс стенки полого параллелепипеда.