Кварцевый измеритель толщины пленок

Авторы патента:

Ю. Ф. Брызгалов, А. М. Озеров , И. Г. Фильцер

G01B7/06 - для измерения толщины

О П И С А Н И Е 369372

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Сацивлистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 17.11,19?1 (№ 1621240/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

М. Кл. G 01Ь 7/06

Комитет по лелем изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

Опубликовано 08.II.1973. Бюллетень № 10 за 1973

Дата опубликования описания 9.IV.1973

УДК 621.317:531.717.11 (088,8) Авторы изобретения

Ю. Ф. Брызгалов, А. М. Озеров и И. Г. Фильцер

Заявитель

КВАРЦЕВЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК

Изобретение относится к методам и средствам, предназначенным для измерения толщины тонких пленок и для одновременного управления скоростью их осаждения в процессе вакуумного напыления.

Известен кварцевый измеритель толщины пленок, содержащий эталонный кварцевый генератор, измерительный кварцевый генератор, преобразователь частоты, связанный входами с выходами эталонного и измерительного генераторов, кварцевый датчик, включенный в качестве колебательного контура в измерительный генератор, индикатор значения промежуточной частоты, подключенотый к выходу преобразователя частоты, индикатор скорости изменения промежуточной частоты, соединенный с выходом индикатора значения промежуточной частоты, и блок управления скоростью напыления пленки.

Цель предлагаемого изобретения вЂ” повышение качества и производительности процесса напыления пленки.

Для этого индикатор скорости изменения промежуточной частоты выполнен в виде смесителя с перестраи ваемым по частоте гетеродином и блока управления частотой гетеродина, причем выход смесителя связан с входом блока управления скоростью напыления пленки.

На чертеже изображена блок-схема предлагаемого кварцевого измерителя толщины пленок с устройством управления скоростью напыления.

Он содержит эталонный кварцевый генера5 тор 1, преобразователь частоты 2, измерительный кварцевый генератор 8 с кварцевым датчиком 4, помещенным под колпаком установки вакуумного напыления, перестраиваемый гетеродин 5, блок б управления частотой

1О гетеродина, смеситель 7 и блок В управления скоростью напыления пленки.

Измеритель толщины пленок функционирует следующим образом.

Частота сигнала измерительного кварцево15 ro генератора 8 определяется датчиком 4, а значение промежуточной частоты вЂ” соотношением частот эталонного 1 и измерительного 8 генераторов.

Предварительно перед началом процесса напыления гетеродин 5 настраивают по нулевым биениям с частотой сигнала промежуточной частоты, фиксируемым на выходе смесителя 7.

При начале напыления частота гетеродина

5 начинает изменяться посредством блока б в соответствии с заданной программой, что приводит к появлению сигнала на выходе смесителя 7, который воздействует на блок 8, так что мощность, расходуемая на испарителе, зо автоматически устанавливается на уровне, 369372

Составитель А. Духанин

Техред Л. Грачева

Корректоры: А. Васильева и А. Степанова

Редактор Л. Василькова

Заказ 818/3 Изд. № 1236 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 обеспечивающем заданную скорость напыления, в процессе которого собственная частота датчика 4, а, следовательно, и частота сигнала генератора 8 понижается.

Предмет изобретения

Кварцевый измеритель толщины пленок, содержащий эталонный кварцевый генератор, измерительный кварцевый генератор, преобразователь частоты, связанный входами с выходами эталонного и измерительного генераторов, кварцевый датчик, включенный в качестве колебательного контура в измерительный генератор, индикатор значения промежуточной частоты, подключенный к выходу преобразователя частоты, индикатор скорости изменения промежуточной частоты, соединенный с выходом индикатора значения промежуточной частоты, и блок управления скоростью напыления пленки, отличающийся тем, что, с целью повышения качества и производительности процесса напыления пленок, индикатор скорости изменения промежуточной частоты выполнен в виде смесителя с перестраиваемым по частоте гетеродином и блока управления частотой гетеродина, причем выход смесителя связан с входом блока управления скоростью напыления пленки.

Воесоюз(чая s >&-.: -v-j«:"';'r •<"j"'';!f'!ff'f^! .f ' п^л;!:з;и^1;-;йл?:т ;:.;!.irt5i^ // 366403

Емкостной датчик линейного перемещения // 366343

Всиссюзнля i // 365553

Устройство для контроля толщины покрытия при химическом никелировании // 365394

Эюзная i // 364891

Прибор для измерения толщины диэлектрических покрытий на немагнитных металлах // 364834

Накладной токовихревой датчик // 364833

Вихретоковое устройство для измерения толщины диэлектрических покрытий на металлических // 363858

Электромагнитный прибор для измерения толщины токопроводящих изделий // 362984

Термозонд для неразрушающего контроля толщины защитных пленочных покрытий // 2101674

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Устройство для измерения толщины плоского изделия и способ его реализации // 2107257

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Устройство для определения наличия и толщины пленки электролита на поверхности металлических объектов // 2107891

Вихретоковое устройство для неразрушающего контроля // 2111482

Индукционный датчик контроля толщины металлических покрытий // 2112919

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Неразрушающий способ определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений // 2113691

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Устройство для измерения толщины проводящего покрытия с непосредственным отсчетом // 2128818

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий

Магниторезистивный элемент и способ его получения // 2128819

Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Электромагнитный толщиномер // 2129253

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Измерительное устройство // 2133448

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе