Сканирующий параллелограммный механизм
". ((н4 " цвак
Ф - . (ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Соеетскиз
Социалистическиз
Респтблил
36056!
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 20.1Ч.1971 (№ 1647815/26-25) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет—
Опубликовано 28.Х1.1972. Бюллетень ¹ 36
Дата опубликования описания 22.1.1973
М. Кл. G 01j 3/06
Комитет по делаи изобретений и открытий при Совете Иинистрое
СССР
УДК 535.411(088.8) Авторы изобретения
В. М. Архипов, А. А. Шишигин и О. Н. Гусев
Заявитель
СКАНИРУЮЩИЙ ПАРАЛЛЕЛОГРАММНЪ1Й МЕХАНИЗМ
Изобретение относится к точным оптическим приборам и может быть применено в качестве сканирующего устройства в интерферрометрах типа Ф абри — Перо, Сисам, Фурье-спектрометр.
Из(вестные параллелограммные механизмы не позволяют обеспечить высокие передаточ ные отношения при реализации малых перемещений, а также приложить смещающие усилия строго симметрично с двух сторон сканирующего основания и непосредственно к сканирующему элементу.
Предлагаемое устройство позволяет обеспечить малые перемещения рабочих элементов (зеркал, пластин Фабри — Перо и т. д.) с высокой линейностью и чувствительностью и пониженным влиянием к вибрациям. Так, например, при записи свободного спектрального интервала пластину Фабри — Перо необходимо сместить на т/2, где . — длина волны настройки. В интерферрометре Фабри
Перо в пределах овободного спектрального интервала записывается обычно 20 — 30 разрешаемых спектральных интервалов. Таким образом, для записи одного разрешаемого интервала необходимо пластину сместить для рабочей длины волны света й=0,6 мкм на
0,01 мкм. Но для индикации положения спектра требуется реализовать регистрацию одного разрешаемого интервала, по крайней мере, с точностью до 10%. В этом случае чувствительность смещения должна составлять 0,001 мкм.
В предлагаемом устройстве на пружины, соединяющие (верхнее и нижнее основание, установлено дополнительное основание, несу щее рабочий элемент (зеркало, пластину
Фабри — Перо и т. д.).
На чертеже схематически представлено предлагаемое устройство.
Система гибких пружин 1, 2 и оснований
3, 4, 5 образует два (вставленных друг в дру га параллелограммных механизма. За счег изменения соотношения высот H u h между основаниями, а также зазоров а и толщины б пружин в параллелограммных механизмах можно при сравнительно малых габаритах получить достаточно высокие передаточные отношения (до 10з и более раз). При наличии большого передаточного отношения механизм предъявляет к себе меньшие требования в сборке нижнего параллелограмма по сравнению с известными параллелограммными
25 устройствами, так как в нем смещающие усилия прикладываются к дополнительному основанию строго симметрично с двух сторон.
Использование предлагаемого механизма позволяет уменьшить требования к задающему механизму, уменьшить вибрации на оптическом элементе, передаваемые задающим
369561
Составитель С. Соколова
Техред Т. Миронова
Корректор Л. Бадылама
Редактор А. Батыгин
Заказ 690/2352 Изд. № 1798 Тираж 406 Подписное
ПНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5
Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» механизмом, и осуществить плавное, безлюфтовое смещение за счет деформации гибких элементов.
Предмет изобретения
Сканирующий параллелограммный механизм, содержащий пружины, соединяющие параллельные неподвижные нижнее и подвижное верхнее основания, отличающийся тем, что, с целью обеспечения малых перемещений рабочих элементов с высокой линей. ностью и чувствительностью, механизм содер5 жит, по к райней мере, одно основание, несущее рабочий элемент, устанавливаемое на пружинах между нижним и верхним основаниями.