Патент ссср 348856
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
348856
Gaea Советских
Сакиалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства Ке
Заявлено 20.IV.1970 (№ 1430389/25-28) с присоединением заявки К
Приоритет
Опубликовано 23Х111.1972. Бюллетень Х< 25
Дата опубликования описания 13.IX.1972
М. Кл. 6 Olb 7/06 комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.317:531.717.11 (088.8) Авторы изобретения
В. М. Гудков, Б. В. Гончаренко и Г. А. Шумаков
Заявитель
ИЗМЕРИТЕЛЬ ТОЛЩИНЫ НАПЫЛЯЕМЫХ ПЛЕНОК
Изобретение относится к Heðàçðóøàþùåìó контролю и может быть использовано в устройствах для вакуумного напыления при изготовлении пленочных компонентов интегральных микросхем.
Известен измеритель толщины папыляемых пленок, содержащий два кварцевых резонатора, располагаемых в потоке напыляемого материала, заслонку, поочередно перекрывающую один из кварцевых резонаторов.
Известные измерители неудобны тем, что у них весьма низкий срок службы кварцевых резонаторов, практически он не превышает
8 — 10 циклов напыления. Суммарная толщина напыленной пленки не может превышать мклт. Тем самым уменьшается добротность кварца, нарушается линейность между отклонением частоты и приростом массы. Влияние термических факторов па точность измерений требует строгого подбора пар резонаторов по температурному коэффициенту частоты. Такой подбор резонаторов приводит к значительному их расходу, и эксплуатация устройства становится экономически нерентабельной.
Целью изобретения является повышение надежности. Предлагаемый измеритель снабжен вращающи<мся обтюратором, установленным в потоке напыляемого материала перед заслонкой.
На чертеже изображена блок-схема предлагаемого измерителя.
Измеритель содержит кварцевые резонаторы 1 и 2, глухую заслонку 8, обтюратор 4 со сдвоенным диском; высокочастотные генераторы 5 и 6, смеситель 7, исполнительный каскад 8, низкочастотный опорный генератор 9, поляризованное реле 10 с двумя устойчивыми положениями, контакт реле 11 исполнительного каскада 8, реле 12 и его контакты 18 и 14, обмотки 15 и 16 поляризованного реле и кнопки 17 и 18.
Измеритель толщины напыляемых пленок функционирует следующим образом.
15 В вакуумной камере вблизи с подложкой, на котору|о осаждаются элементы микросхемы, устанавливаются два кварцевых резонатора (и 2 с одинаковой резонансной частотой. Кварцеьые резонаторы определяют час20 тоты двух идентичных высокочастотных генераторов 5 и 6. Соосные отверстия сдвоенного ьращающегося диска обтюратора 4 периодически открывают один из кварцевых резонаторов для запыле|шя.
25 Разностная частота двух генераторов 5 и 6 возникающая вследствие осаждения пленки на один из кварцевых резонаторов, выделяется смесителем 7 и подается на исполнительный каскад 8, в котором производится
30 ее сравнение с частотой низкочастотного reоч8850
Соста ни тель А. Ду ханин
Тсхред Л. Куклина
Корректор E. Талалаева
Редактор С. Титова
Заказ 2893, 11 Изд ¹ 1242 пра;«495 Подll ис и ое
ИНИИПИ Компгета по делам изобретений и открыт и при Совете Мпппстров СССР
Москва, 7К-35, Раушскап пао., д. 4i5
Тнпографн!1, пр, Сапун!ова, 2 нератора 9. При равенстве частот генератора 9 и разностной частоты генераторов 5 и о исполнительный каскад 8 посредством контактов 14 поляризованного реле 10 перек:почает глухую заслонку 8, а контактап! 18 подключает новый источник опорной частоты — напряжение промышленной сети.
При следующем напылении пленка будет осаждаться на другой кварцевый резонатор, а разностпая частота генераторов 5 и б будет уменьшаться до значения равного частоте промышленной сети. Цикл повторяется.
Г ! !
1 ! з—
Толщина пленки ка кдого цик. 1а напыления определяется разностью опорных частот.
Предмет изобретения
Измеритель тол!Инны на!И1ляемых пленок, содер>кащий дга кварцевых резонатора, располагаемых в потоке папыляемого материала, заслонку, поочередно перекрывающую один из кварцевых резонаторов, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности измерителя, ои снабжен вращающимся обтюратором, установленным перед заслонкой.
