Устройство для климатических испытани

328793

О П И СА Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 23.1Х.1969 (¹ 1360930/18-10) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 24.11.1972. Бюллетень М. S

М. Кл. G 05d 23, 30

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Мииистров

СССР

УДК 536.581(088.8) Дата опубликования описания 7.IV.1972

Авторы изобретения К. В. Калинин, Я. В. Костромин, В. Я. Кульбенко и В. Г. Румшевич

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КЛИМАТИЧЕСКИХ ИСПЫТАНИМ

Изобретение относится к испытательным оборудованиям н,предназначено для класоификации интегральных схем в условиях глубокого холода или тепла с последующей разбраковкой пх по группам годности по результатам испытаний.

Известны полуавтоматы для температурных испытаний полупроводниковых приборов, содержащие .проходную термостатированную камеру, механизмы загрузки, выгрузки, транспортирования, разбраковки и шлюзы, предназначенные для уменьшения влияния внешней среды на температурный режим внутри камеры (выполненные в виде форкамеры с управляемыми заслонками).

Однако в таких устройствах во время открывания заслонок шлюза полезный объем сообщается с внешней средой, что отрицательно сказывается на температурном режиме в шлюзе. Кроме того, в полезный обьем вносятся изделия, имеющие температуру окружающей среды.

Цель изобретения — исключение нарушений климатического режима во время загрузки и выгрузки изделий.

Для этого предлагаемое устройство снабжено отсеком предварительной термической выдержки и переходными камерами, сообщенными с теплоизолированным объемом посредством шлюзов, выполненных в виде ряда сскций, каждая из которых перекрыта упругой диафрагмой с профильными вырезом по форме изделия.

На фиг. 1 и 2 дана схема предлагаемого устройства для климатических испытаний с разрезами по Л вЂ” Л и Б — Б.

Устройство содержит полезный обьем 1, заключенный в цилиндрическую рубашку 2 (см. фиг. 2) и служащий для размещения и рабо1Q ты в нем механизма перемещения интегральных схем (ИС); подающий транспортер 8 механизма перемещения; переходную камеру 4; ленту 5 подающего транспортера, натягиваемую колесом б и проходящую в отсек 7 пред15 варительной термической выдержки через шлюзовой канал 8, перекрытый эластичными диафрагмами 9, а в секциях между ними— ворсинками 10. Диафрагмы имеют профильные вырезы 11, соответствующие профилям

2О IIC 12, и плотно облегают ИС. Ротор 18 криволинейного накопителя 14 с помощью наклонного тангенциального съемника 15 связан с подающим транспортером 3, а с помощью наклонного питателя 1б — с устройст25 вом для контактирования, посредством ленты

5 отводящего транспортера 18. Контактор устройства для контактирования выполнен из двух частей — верхней (подвижной) 19 и нижней (неподвижной) 20. Отводящий транспорзо тер 18 выходит через шлюзовую камеру, ана328793

10 логичную камере на входе, в переходную кавзаи IOpeÉiT eT TBil C p330pBKOBщиком (на чертеже не показан). В отсеке 21 нижней камеры размещечы центробежный вентилятор 22, распылитель жидкого азота 28 и нагреватель 24, служащие для создания климатических режимов. Днище 25 отсека, расположенного в верхней части камеры, выполнено перфорированным и служит для равномерной подачи среды в район выдержки и замера ИС 12.

Камера работает следующим образом.

Каждая из ИС попадает на ленту 5 подающего транспортера 8 и перемещается с ней через переходную камеру 4, где, в случае испытаний на холод, она осушается (напримср, патронами с силикагелем, обдувом сухим подогретым воздухом и т. д.) и далее через шлюзовой канал 8 попадает в отсек 7. Для исключения влияния внешней среды на среду в полезном объеме канал 8 перекрыт эластичными диафрагмами 9, имеющими профильные вырезы 11, пространство между которыми заполнено эластичными ворсинками 10.

В канале постоянно находятся движущиеся вместе с лентой 5 не менее четырех ИС 12, которые плотно облегаются диафрагмами 9, что в сочетании с ворсинками 10, заполняющими пространство между ними, надежно уплотняет шлюзовой канал 8. После прохода канала

8 ИС попадают в отсек 7 и из него по наклонному съемнику 15 — на криволинейную линейку накопителя 14. Далее онп перемещаются ротором 13 в течение времени, необходимого для выдержки в заданном климатическом режиме, а затем по наклонному питателю 16 попадают на ленту 5 отводящего транспортера 18 и в устройство 17 для контактирования.

В этом устройстве каждая ИС 12 ориентируется и фиксируется, затем верхняя подвижная часть 19 контактора опускается и своими контактамп прижимает выводы ИС 12 к контактам нижней неподвижной части 20 контактора на время, необходимое для снятия пара10 метров ИС, После замера параметров лента 5 отводяLLIcl.0 транспортера 18 через шлюзовой канал и переходную камеру отводит каждую ИС 12 и разбраковщик на разбраковку по результа15 там испытаний на группы годности. Температура в полезном объеме камеры создается распылением жидкого азота или электрическими нагревателями. Воздух распределяется центробежным вентилятором 22.

П р с д м с I и з о б р с т с il ii 51

Устройство для климатических испытаний, содержащее теплопзолированный оо ьем, шлю25 зы, механизмы для перемещения и контактированпя изделий, отличаюи ееся тем, что, с целью исключения нару пении климатического режима во время загрузки и выгрузки изделий, оно снабхкено отсеком предварительной

30 термической выдержки и переходными камерами, сообщенными с теплоизолированным ооъемом посредством шлюзов, выполненных в виде ряда секций, каждая из которых перекрыта упругой диафрагмой с профильным вы35 резом по форме изделия.

328793

Составитель Б. Розовская

Тскрсд 3. Тараненко

Рсдактор T. Иванова

1,оррск гор Т, Миронова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 865/14 Изд.. и 389 Тира;и 448 Подписное

LiI IIIIIIII I !(омитста ио;«лага изобретений и открытий при Соистс Министров СССР

Москва, )l(-35, Рауигская нао., д. 4/5