Раствор для травления никеля и ковара^•:~'^cз^;ar- •> &.,-•..•,: ,• •'г.-'и 1:' •• :..,':;.:шияд'
327263
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскиз
Социалистических
Реслублин
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 20.Х.1969 (¹ 1369031/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 26.1.19?2. Бюллетень № 5
Дата опубликования описания 6.II I.1972
М. Кл. С 23f 1/00
Комитет яо делам изобретений и открытий ори Совете Министров
СССР
УДК 621.794.41:669.15 24 25 (088.8) Авторы изобретения
Э. С. Карпенко, Б. А. Камбурьян и В. Н. Кидалюк
Заявитель
РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ НИКЕЛЯ И КОВАРА
250
15
Неровность вытравленного края, .ик
Скорость
Температура травления, лис/мок травителя, OC
44
20
Изобретение относится к области химической обработки никеля и ковара и может быть использовано в электронной промышленности, приборостроении и радиопромышленности, в частности, для изготовления рамок выводов при производстве интегральных микросхем и для изготовления деталей сложной конфигурации фотохимическим методом.
Известен раствор для травления 1шкеля ковара на основе хлорного железа.
Однако в известном растворе в процессе травления на поверхности образуется труднорастворимый шлам, который и репятствуег равномерному травленшо, снижая скорость травления и качество поверхности.
Предлагаемый раствор отличается от известного введением в его состав азотной и уксусной кислот при определенном соотношении компонентов, ITQ позволяет интенсифицировать процесс и обеспечить равномерное травление без образования шлама.
Предлагаемый раствор содержит хлорное железо, азотную и уксусную кислоту при следующем соотношении компонентов, мл/л: хлорное железо 450 — 490 г/л азотная кислота (уд. вес. 1,41) 240 †2 уксусная кислота (уд. вес. 1,05) 240 — 260
Пример. Прозодилось двустороннее травление никеля в растворе следующего состава, мл: хлорное железо (уд. вес 1,38 — 1,4) 500 азотная кислота (уд, вес. 1,41) уксусная кислота (уд, вес, 1,05) 250 прп температi ре 25 — 50 C.
Скорость травления п неровность вытравлепногo края в зависимости от температуры раствора представлены в таблице.
Предмет изобретения
1. Расгвор для травления никеля п ковара
30 на основе хлорного железа, orëè÷àþùïàñë
327263
Составитель В, Лебедева
Текред Е. Борисова
Корректор Е. Зимина
Редактор В. Новоселова
Заказ 54626 Изд. № 162 Тираж 448 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 тем, что, с целью интенсификации процесса и обеспечения равномерного травления без образования шлама, в его состав введены азотная и уксусная кислоты.
2, Раствор по п, 1, отличающийся тем, что в него введены азотная и уксусная кислоты при следующем содержании компонентов, лл/л: хлорно железо 450 — 490 г/л азотная кислота (уд. вес. 1,41) 240 †2 уксусная кислота (уд. вес. 1,05) 240 †2
