Библиотека i
327262
ОЙ ИСАЙ ИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскиа
Сециалистическиа
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 11.11.1970 (№ 1403373/22-1) И. Кл. С 23с 13/00 с присоединением заявки ¹
Комитет по делам изобретений и открытий лри Совете Министров
СССР
Приоритет
Опубликовано 26Л.1972. Бюллетень № 5
Дата опубликования описания 6.I I I.1972
УДК, 621.793.14(088.8) SCECeeappp
ПМИНТНР-ТЕХК ","..:,";
Лвтор изобретения
М. 3. Лутрин
Специальное конструкторское бюро вакуумных покрыти
Заявитель
СПОСОБ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ
При осуществлении способа очистку деталей производят в штабелях, состоящих из кассет, что сокращает необходимое время очистки для нескольких деталей. После создания в камере необходимой степени разряжения на изолированные друг от друга кассеты подают высокое напряжение, что приводит к созданию зоны тлеющего разряда внутри штабеля. После окончания очистки на де10 тали осаждают покрытие.
15 Способ очистки поверхности в тлеющем разряде перед нанесением покрытий путем осаждения в вакууме, отличающийся тем, что, с целью интенсификации и упрощения процесса, очистку осуществляют с использова20 нием в качестве электродов тлеющего разряда кассет для крепления деталей.
Изобретение относится к области нанесения покрытий путем осаждения в вакууме, в частности к способам очистки поверхности перед нанесением покрытий.
Известен способ очистки поверхности в тлеющем разряде перед нанесением покрытий путем осаждения в вакууме. Однако при использовании известного способа требуется наличие электродов тлеющего разряда, в зоне действия которых должны находиться очищаемые детали.
С целью интенсификации и упрощения процесса по предлагаемому способу очистку поверхности осуществляют с использованием в качестве электродов тлеющего разряда кассет для крепления деталей.
Способ состоит в том, что очистку поверхности перед нанесением покрытий путем осаждения в вакууме осуществляют с использованием в качестве электродов тлеющего разряда кассет для крепления деталей.
Предмет изобретения
