Способ измерения диаметра электронного пучка

Авторы патента:

H01J47 - Приборы для определения наличия, интенсивности, плотности и энергии излучения или частиц (фотоэлектрические разрядные приборы, в которых не происходит ионизация газа, H01J 40/00)

B23K15 - Сварка или резка электронным лучом (электронно- или ионно-лучевые трубки H01J 37/00)

О П И С А Н И Е 324616

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Х АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 14.V.1970 (№ 1439979/25-27) с присоединением заявки №

Приоритет

М. Кл. Н Olj 39/00

В 23k 15/00

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Опубликовано 23.Х11,1971. Бюллетень ¹ 2 за 1972

З,ата опубликования описания 15,II,1972

УДК 621.791.72,03 (088.8) Авторы изобретения

Заявитель

И. Ю . Зыбко и К. В. Любавский

Центральный научно-исследовательский институт техноло н pQC„;Q .я, вЂ ;дсг машиностроения т

Ю г е

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДИАМЕТРА ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА

Известен способ измерения диаметра электронного пучка токопроводящими зондами, периодически пересекающими электронный пучок в нескольких плоскостях, перпендикулярных его оси.

Известный способ, основанный на вращательном движении зонда, не обеспечивает высокую точность измерений.

С целью повышения точности измерения по предлагаемому способу осуществляют возвратно-поступательное перемещение токопроводящих зондов.

На чертеже показана схема, поясняющая предлагаемый способ.

Зонды 1 и 2 изготовлены, например, из вольфрамовой ленты толщиной не более 0,05 мат и в необходимом количестве закреплены в изоляторах 8 скобы 4.

Зонды сдвинуты друг относительно друга и установлены так, что их узкие стороны расположены перпендикулярно к оси пучка 5; зондам сообщается возвратно-поступательное движение с помощью, например, кривошипношатунного механизма б с приводом от электродвигателя 7. Ток, отбираемый зондами прн пересечении пмн электронного пучка, поступает, наг1рггмср, на многолучевой осциллограф (на чертеже не показан), позволяющий наблюдать, фотографировать и измерять нмпуль5 сы этого тока. Размеры импульсов позволяюг оценивать диаметр электронного пучка н силу его тока, а сравнение импульсов от нескольких зондов, расположешгых на различных уровнях по высоте электронного пучка, обеспечивает

10 оценку его угла сходнмостн.

Ширина и толщина ленты подбирается в ка>кдохг конкретном случае в зависимости от энергетических параметров пучка. Это позволяет увеличивать ее долговечность и обеспе15 чивает стабильность измерений.

Предмет изобретения

Способ измерения диаметра электрогпюго пучка токопроводящпмн зондами, периодиче20 скн пересекающими электронныи пучок в нескольких плоскостях, перпендш улярных его оси. от,гггчающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, осуществляют возвратно-поступательное перемещение токопро25 водящих зондов.

Составитель E. Мамутов

Редактор М. Макарова Техред Л. Богданова Корректоры: Е. Исакова и E. Зимина

Заказ 308/14 Изд. № 1862 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская иаб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2