Патент ссср 318067

318067

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союа Советскик социалистических

Респтбллк

Зависимое от авт. свидетельства _#_Заявлено 22.Ч.1968 (№ 1242329/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 19.Х.1971. Бюллетень № 31

Дата опубликования описания 23.XII.1971

МПК Н Olc 7/00

Комитет по делам иаобретений и открытий прн Совете Министров

СССР

УДК 621.396,692(088.8) Авторы изобретения Н. М. Кондрашов, С. И. Миронов, Г. С. Тюрин, В. Н. Гуржеев и В. В. Трейер

Заявитель

ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЙ УПРАВЛЯЕМЫЙ РЕЗИСТОР

Предмет изобретения

Изобретение относится к области радиоэлектроники, в частности к электрохимическим управляемым резисторам.

В известных электрохимических приборах применяются электроды, полученные вакуумным напылением пленки благородных металлов на керамическую подложку. Для увеличения адгезии этого слоя используют промежуточный слой из напыленного нихрома. Однако этот промежуточный слой .растворяется в электролите.

Целью изобретения является создание стойких пленочных электродов. Указанная цель достигается тем, что промежуточный слой выполнен из сплава хрома и кремния.

В корпусе резистора, заполненном электролитом, находятся два электрода: первый из них управляющий, .второй — считывающий.

Оба электрода выполнены в виде пленочных структур на керамических подложках, Сущность предлагаемого способа заключается в том, что на керамическую подложку вначале напыляется промежуточный слой дисилицида хрома — сплава на. основе ..кремния, содержащего 46 — 50% вес. ч. хрома.

Пленку родия или платины напыляют на образованный ранее подслой без разгермети; зации установки. (В результате резко возрастает стабильност свойств электрохимического управляемого ре зистора, так как слой электрода с подслое из дисилицида не отслаивается от подложк в условиях длительной работы в среде элек тролита (подкисленном растворе сернокисло

lp меди с потенциалом -2 в) и сохраняет ово плотное строение.

При описанных выше условиях отслаи вания и растворения подслой не происходи при многократном циклическом осаждении н

15 электроде слоя меди и его снятии.

Электрохимический управляемый резистор, 20 содержащий корпус, заполненный электроли том, и электрод считывания с контактами виде пленочной структуры на диэлектриче ской подложке, отличающийся тем, что, с це лью повышения стабильности характеристи, 2S электрод считывания р асположен на проме жуточном слое, выполненном из сплава хро ма и кремния.