Способ контроля чистоты внутренних поверхностей свч- резонаторов блоков развертки электроннолучевых приборов
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 10.XI.1969 (№ 1375291/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 19.Х.1971. Бюллетень № 31
Дата опубликования описания 22.XII.1971
МПК G Olr 27/26
Комитет по делам изобретений и открытий прп Совете Министров
СССР
УДК 621.317.741(088.8) Авторы изобретения
Р. В. Чикин, С. Д. Фанченко и П. А. Тарасов
Научно-исследовательский институт электронных приборов
Заявитель
СПОСОБ KOHTPOJI9 INCTOTbl BHVTPEHHNX nOBEPXHOCTEA
СВЧ-РЕЗОНАТОРОВ БЛОКОВ РАЗВЕРТКИ ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВЫХЕВЫХ ПРИБОРОВ
Предмет изобретения
1
Изобретение относится к способам контроля внутренней поверхности СВЧ-блока резонаторов развертки электронного пучка в электроннолучевых приборах, предназначенных для регистрации коротких электрических и световых импульсов наносекундной и пикосекундной длительности.
Известен способ контроля чистоты внутренней поверхности собранного блока резонаторов, включающий в себя визуальный контроль и контроль с помощью микроскопа и не обеспечивающий обнаружение мельчайших частиц (менее 1,0 мк) малого количества (1 — 3 шт.).
Цель изобретения — повышение наблюдаемости загрязнений поверхности.
Для этого производят откачку резонаторов до 1 I0-5 торр, подводят к ним СВЧ-энергию и по свечению участков их внутренней поверхности определяют место загрязнения.
По предлагаемому способу собранный СВЧблок резонаторов помещают в вакуумную камеру, к нему подводится питание СВЧ-энергией трехсантиметрового диапазона. До достижения в ней вакуума 10- лм рт. ст включают СВЧ-генератор, питающий в непрерыв2 ( ном режиме этот блок резонаторов, и через, соответствующие окна в вакуумной камере ведут наблюдение за количеством пылинок по их свечению в электрическом поле СВЧ-частоты.
Интенсивность свечения зависит от величи-, ны подводимой СВЧ-мощности. При удалении, пылинок свечение в блоке резонаторов прекра-, щается.
Данный способ контроля чистоты поверхно-, 10 стей деталей и узлов может найти применение, и в других электронных приборах магнетрон-, ного типа, Способ контроля чистоты внутренних по-, верхностей СВЧ-резонаторов блоков разверт- ки электроннолучевых приборов, основанный на визуальном наблюдении частиц, загрязняющих поверхность, отличающийся тем, что, с целью повышения наблюдаемости загрязнений поверхности, производят откачку резонаторов до 1 10 — торр, подводят к ним СВЧ-энергию и по свечению участков их внутренней поверх-
25 ности определяют места загрязнений,
