Патент ссср 316759
Со!оз Советских
Сспиалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”
Заявлено 10Х1!.1969 (№ 1355475j22-1) МПК С 23с 11/00 с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет
Опубликовано 07.Х.1971. Бюллетень ¹ 30
Дата опубликования описания 22.XII.1971
Комитет по делом изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.793.16:669.27 (088.8) Авторы изобретения Ю. Н. Голованов, А. И. Красовский, В. С. Плешаков: А. Х. Турнер
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВОЛЬФРА1111ОВЫХ ПОКРЫТИЙ
Предмет изобретения
Изобретение относится к области получения металлических покрытий химическим восстановлением соединений металла в газовой фазе.
Известен способ получения вольфрамовых покрытий восстановлением гексафторида вольфрама водородом.
Предло?кенный способ отличается от известного тем, ITo процесс осуществляют с наложением звуковых колебаний. Это позволяет повысить качество получающихся покрытий и 1О скорость процесса.
Процесс осуществляют следующим образом.
Покрываемую деталь нагревают в реакционной камере в потоке водорода до 700 — 750 С, поле чего в камеру пода!от гексафторид воль- 15 фрама и водород в соотношении от 1: 15 до
1: 20 с одповремеш3ым наложением звуковых колебаний с частотой 0,15 — 18 кг!! и интенсивностьь ю звука 80 — 140 дб.
Наложение звуковых колебаний производят 2О при помощи любого звукового излучателя, кроме тех, которые работают на сжатом газе.
В результате колебаний газовой смеси, вызванных звуковым полем, улучшается массÎи теплооб IcH газоьой смеси с покрываемой 25 поверхностью, и образу;ощпйся прп восстаповлсшш гсксафторп:1а ольфрама фторпстый водород быстро уда i«cI cII, предотвращая тем самым образован.!с пассив!1ой пленки на покрываемой пове13хпостн. Это обсспс:1ивает поьь1шение каче:ти ьольфрамовых покрытий и увели!ив",cò cõopocòü процесса.
Покрытия, полученные по предложенному способу, отлпча;О-ся мелкозср истой структуро i. высокой адгезпсй с основой и равномгрНОй ТОЛЩИНОЙ !I PI! I l!ICCCI!ПИ ПОК13ЫТ11й IILI 113 д с л ! я c, l 0 ж 11 0 и к 0 н (11 11 г p а и и и .
1. Cllocoo по,|, ;с!11!я 130льф|3амовь1х пок13ыTIilI и гтс31 Восста1 .!);3 icl!1! I 1 сксафт013ида воль<ррама водородом, отлп|!Ою1,1!1! Ся тем, что, с
1!c. lь!О п013ышcilliя ка !ест:!а п01:,рытl!й и скорости осаждения, процесс осущестьлхнот с наложсн11схl звх к013Ь1х ко, |с0,11!:!и.
2. Способ по п. 1, отлнчс!!Оп11шся тем, что
iI P O LI C C 0 С 3 I Ц Е С Т 1 Л I! o I С i!;i Л 0 ж 011 П С Х! 3 В У К 0 В Ы Х
I;0,IcoHIIIIli |!исто-.о:i 0,15 — I b Kc".11 и 1птснс!!впость!О звх ка 80 — 1.10 с|б.
