Библиотека |
ОПИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
3l6l63
Союз Соеетскик
Социалистическил
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 19.111.1970 (лй 1419789/26-9) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 01.Х.1971. Бюллетень № 29
Дата опубликования описания 27.Х.1971
ЧПК Н 02m 7/52
Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Совете Мииистоое
СССР
УДК 621.314.1:
:538.632 (088.8) Авторы изобретения
В. В. Матвеев и l0. В. Сурин
Заявитель
ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ НА ОСНОВЕ ЭФФЕКТА ХОЛЛА
Известны преобразователи на основе эффекта Холла с концентратором магнитного поля и датчиком Холла, выполненном в виде полупроводниковой пленки.
Недостаток известных устройств состоит в том, что они имеют предел работы по частоте не более 1 — 6 Мгц, а частотная характеристика нелинейна из-за изменения магнитной проницаемости феррита с частотой.
Однако известные устройства обладают большим объемом и не могут быть применены в пленочных микросхемах.
С целью улучшения частотной хар актер истики устройства и увеличения предела работы по частоте в предлагаемом устройстве концентратор магнитного поля выполнен в виде плоской спиральной катушки, расположенной на ситалловой подложке, поверх которой на диэлектрической пленке расположен датчик Холла.
На чертеже приведена конструкция предлагаемого преобразователя.
Устройство состоит из плоской спиральной катушки 1 с большой плотностью витков, являющейся концентратором магнитного поля и датчика 2 Холла,. напыленного на пленку диэлектрика 8, которая изолирует датчик
Холла от витков катушки.
Спиральная катушка намотана на стандартной ситалловой подложке 4 проводом
ПЭВ, диаметром 0,003 — 0,07 л лт, на свободной части которой может быть размещена пленочная микросхема. Пленка диэлектрика
5 и полупроводникового датчика Холла нанесены сверху на спиральную катушку последовательно. Датчик размещен вблизи центра концентратора магнитного поля. Применение тонкой пленки диэлектрика позволяет уве10 личить напряженность вертикальной составляющей магнитного поля, в области датчика, так как при приближении к поверхности плоской спиральной катушки напряженность магнитного поля резко возрастет.
Конструкция герметизирована компаундом
5 на основе эпоксидной смолы ЭД-6. Для увеличения вертикальной составляющей напряженности магнитного поля в 1,5 — 2 раза в
20 компаунд введен наполнитель из мелкодисперсного порошка ферромагнитного материала (например, карбонильного железа) .
Конструкция преобразователя в виде пло25 ской структуры позволяет получить практически линейную частотную зависимость напряжения Холла от частоты в диапазоне от инфразвуковых частот до частот ВЧ-диапазона (14 Мгц) и, тем самым, увеличить предел
30 работы по частоте до 14 Мгц.
Ы 6163
Предмет изобретения
/ г
Составитель А. Мерман
Техред 3. H. Тараненко Корректор Т. Л. Бабакина
Редактор Т. Морозова
Заказ 3034/9 Изд. № 1267 Тира>к 473 Подписное
Ц1!11ИП11 Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров C(Р
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Преобразователь на основе эффекта Холла, содержащий концентратор магнитного поля и выполненный в виде полупроводниковой пленки датчик Холла, отличающийся тем, что, с целью улучшения частотной характеристики, увеличения предела работы по частоте, концентратор магнитного поля выполнен в виде плоской спиральной катушки, расположенной на ситалловой подложке, по5 верх которой на диэлектрической пленке расположен датчик Холла.
