Патеятно-техкйнегкаябиблиотека

ОПИСАНИЕ

3О1693

Союз Советских

Социалистических

Республик

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт, свидетельства №

Заявлено 12.V.1969 (№ 1329471/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21.! т/.1971. Бюллетень № 14

Дата опубликования описания 16Х1,1971

МПК G 05d 7/01

Номитет по делаы изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

3 Д1х 681.2 х5(088.8) Автор изобретения

В, П. Егоров

ВСЕСОЮЗНАЯ

ПАТЕНТНи-ТЕХНК% Яр

БИБЛИСТ (д

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ МАЛЫХ РАСХОДОВ ГАЗА

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано также в аналитической химии при точных дозировках исследуемых газов, в области квантовой техники и в области радиоспектроскопии.

Известен вентиль-натекатель Мориссона, выполненный в виде двух прилегающих плат, нижняя из которых имеет несколько сквозных калиброванных отверстий. При перемещении верхней платы последовательно перекрываются или открываются отверстия, и таким образом регулируется расход газа через них, Недостатком известного устройства является отсутствие плавной характеристики регулирования, недостаточная точность или малая разрешающая способность регулирования на участках характеристики, соответствующих перемещению края подвижной платы в пределах каждого из отверстий.

С целью повышения точности и обеспечения плавности регулирования в условиях вакуума в предлагаемом устройстве подвижная плата выполнена подпружиненной, снабжена выемкой переменного сечения, расположенной на поверхности, обращенной к нижней плате, образуя над выходным каналом щель, и механически соединена со штоком, выведенным через уплотнение из корпуса.

На фиг. 1 изображена конструкция описываемого устройства; на фиг. 2 — узел А в работе.

Устройство состоит из подвижного элемента

5 1 и корпуса 2, соприкасающихся притертыми поверхностями. Корпус имеет отверстие 8, сообщающееся с выходным патрубком 4. Подвижный элемент имеет выемку переменного сечения б, размещенную на поверхности, со10 прикасающейся с поверхностью корпуса.

Выемка переменного сечения сообщается с входным патрубком б. Подвижный элемент поджат к корпусу пружиной 7 и связан через узел механического соединения 8 со штоком 9, 15 которым он может приводиться в возвратнопоступательное перемещение. Шток по месту выхода из корпуса имеет окружающее его высоковакуумное уплотнение 10.

Устройство действует следующим образом.

20 При начальном положении подвижного элемента 1 в крайнем правом положении отверстие 8 в корпусе 2 перекрыто притертой поверхностью подвижного элемента 1. При наличии разности давлений газа во входном б и

25 выходном 4 патрубках устройства не пропускает газ за исключением незначительных количеств, определяемых качеством притирки соприкасающихся поверхностей подвижного элемента 1 и корпуса 2, которыми можно пре30 небречь, тем более, что в случае единичного

3016И отверстия 8 эти количества значительно меньше, чем в случае нескольких отверстий, как это имеет место в вентиле-натекателе Моррисона.

При поступательном перемещении подвижного элемента 1 с помощью штока 9 влево в районе отверстия 8 образуется микрощель за счет того, что выемка 5 переменного сечения при этом смещается также влево, проходя над отверстием 8 в корпусе 2. Величина микрощели определяется положением выемки 5 переменного сечсния относительно отверстия 8 в корпусе 2, а также — ее геометрическими размерами и формой. Величина микрощели в каждом из возможных положений подвижного элемента 1 определяет величину проводиь ости потока газа. Минимальные количества пропускаемого газа соответствуют положениям подвижного элемента 1 справа (фиг. 2,6), а максимальные — слева (фиг. 2,в).

В предлагаемом устройстве достигается повышение точности регулирования малых расходов газа за счет изменения размеров выемки 5 переменного сечения, т. е. уменьшения размера h и увеличения размера 1 (фиг. 2,а).

В предлагаемом устройстве при перемещении выемки переменного сечения над отверстием 8 микрозазор в районе этого отверстия изменяется плавно без скачков, что обусловлено возможностью технологического исполнения поверхностей выемки переменного сечения плоскими.

1О Предмет изобретения

Устройство для регулирования малых расходов газа, содержащее корпус с патрубками для ввода и вывода газа, в котором располоlS жены неподвижная плата со сквозным выходным каналом и притертая к ней подвижная плата, отличаюш,ееся тем, что, с целью повышения точности и обеспечения плавности регулирования в условиях вакуума, подвижная

20 плата выполнена подпружиненной, снабжена выемкой переменного сечения, расположенной на поверхности, обращенной к нижней плате, образуя над выходным каналом щель, и механически соединена со штоком, выведенным че25 рез уплотнение из корпуса.

Фиг. 1

Фиг z

Составитель В, П. Варнек

Редактор С. И. Хейфиц Техред Л. Я. Левина Корректор Н. Рождественская

Заказ 1423/1 Изд. № 637 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2