Патент ссср 299044

ОЛ ИС

И ЗО БР Е

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ С

Зависимое от авт. свидетел

Заявлено 17Х.1969 (№ 133 с присоединением заявки ¹

Приоритет—

Опубликовано 16.11!.1971, Б

Дата опубликования описа

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы ьзобретения

T. И. Данилина и

Томский институт радиоэлектроники и электронной техники

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК

Изобретение относится к области радиотехники, !в частности к конструктивному выполнению устройства для напыления диэлектрических пленок, используемых при изготовлении микросхем.

Известны устройства для напыления диэлектрических пленок, содержащие газоразрядную камеру, снабженную анодом, холодными катодами, магнитной системой, создающей магнитное поле, на правленное перпендикулярно электрическому IIIoëþ и держатель подложки, на которую напыляется диэлектрическая пленка.

Однако устройства не обеспечивают получения сильно окиcJIBHiHbIx однородных пленок с высокими диэлектрическими параметрами из-за электронно-ионной бомбардировки пленок при напылении.

С целью получения высококачественных аленок в предлагаемом устройстве используют анод П-образной формы, а подложку размещают под анодом вне области газового разряда.

На чертеже изображена конструкция предлагаемого устройства.

Газоразрядная камера 1 содержит П-образный анод 2 и магнитную систему, полюсные наконечники 8 и 4 которой снабжены,насадками 5 и б из распыляемых материалов и выполняют роль катодов. Охлаждение анодов и катодов производится при помощи не показанной на чертеже системы водяного охлаждения, подключенной к патруокам 7.

Под анодом вне области газового разряда размещена подложка 8 на держателе 9, выполненном из диэлектрического материала.

Для подачи газа в камеру служит патрубок

10. Нагрев подложки до на пыления осуществляется нагревателем 11, Для защиты подложки от напыления при очистке катодов разрядом служит подвижная заслонка 12. Расстояние от анода до подложки мо кет регулироваться. С увеличением этого расстояния увеличивается однородность пленок по толщине, но уменьшается скорость напыления, которая дополнительно регулируется величиной разрядного тока, напряженностью магнитного поля и давлением газа в камере.

20 Предмет изобретения

Устройство для напыления диэлектрических пленок, содержащее газоразрядную камеру, снабженную анодом, холодными катодами, магнитной системой и держателем подложки, отличаюшееся тем, что, с целью улучшения качества напыляемых пленок, анод имеет П-образную форму, а держатель,подложки выполнен из диэлектрика и размещен под анодом вне области газового разряда.

299044

Составитель Ю. Козлов

Редактор Т, И. Морозова Техред Л. Л. Евдонов

Корректор А. П. Васильева

Тип, Харьк. фил. пред. «Патент»

Заказ 181/493 Изд. No 345 Тира>к 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Рачыская наб., д. 4., 5