Способ обработки электровакуумных и газоразрядных приборов

>Соеа Ссввтсвил

Сацивлистичвсиил

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”

Заявлено 12.XI.1968 (№ 1282376/26-25) с присоединением заявки М

Приоритет

i!HK Н Olj 9 38

Комитет RO делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

3 ДК, 6?1.385(088 8) Опубликовано 22.Х11.1970. 15юл..!0тепь V . 2 за 1971

Дата опубликования описания 15.11.1- .,7I

Авторы изобретения

Э. П. Гель и 1О. С. Спиридонов

Заявитель

СПОСОБ ОБРАБОТКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ И

ГАЗОРАЗРЯДНЫХ ПРИБОРОВ

Данное изобретение относится к области технологии электровакуумных и газоразрядных приборов и, в частности, к способам откачки электровакуумных, газоразрядных и других приборов.

Известен способ обработки (очистки) арматуры электровакуумных и газоразрядных приборов путем ионной бомбардировки в газовом разряде, состоящий в том, что смонтированные приборы подсоединяют к вакуумной системе и начинают эвакуацию из них воздуха или другого газа со скоростью 0,001 †5 л!сек, зависящей от типа и конструкции приборов.

Затем в интервале давлений 100 — 0,1 торр, определяемым типом обрабатываемых приборов, возбуждают разряд, подавая на электроды электрическое напряжение. Далее этот разряд поддерживают напряжением 100 — 3000 в и непрерывно продолжают эвакуацию газа из прибора, Под действием ионной бомбардировки жировые и солевые загрязнения удаляются с поверхности арматуры.

Однако недостаток известного способа заключается в том, что происходит загрязнение внутренней поверхности оболочки прибора, так как в связи с турбулентностью откачиваемого газового потока увлекаемые с арматуры загрязнения могут переноситься на оболочку прибора. Это особенно нежелательно для приборов, оболочки которых не обезгажпва,отся путем прогрева прибора под печью.

Предлагаемый способ отлич»ется от известных тем, что одновремеш|о с возбуждением

5 газового разряда между электродами оболочку прибора облучают высокочастотной ультр» звуковой энергией с плотностью, даст»точной для удаления адсорбированных, вещес гв.

Это позволяет устранить нежелательные яв10 ления переноса загрязнений внутри прибор», благодаря чему общсе количество загрязнений уменьшается, что приводит и улучшению параметров и повышеншо долгоьсчности приборов.

15 Предлагаемый способ состоит в том, что смонтированные приборы прпсоедпвяюг к в»куумной системе и начинают эвакуацию нз ппх воздуха или другого газа со скоростью 0,001—

10 л(сей, зависящей от типа и конструкции

20 прибора. Затем в интервале давлений 100—

00,01 торр, также определяемом типом обр»б»тываемых приборов, в них возбуждают газовый разряд. Далее этот разряд поддержив»юг напряжением 100 — 3000 в и непрерывно про25 должают эвакуацию газа из прибора. )Кировые п солсвые загрязнения, паходящlMcsl и» поверхности внутрпламповых деталей, под действием ионнон бомбардировки возгоняются.

Для того чтобы не происходило конденс»цш|

30 загрязнений на внутренней поверхности обо29034ов

Составигев!в И. С. Рате1!берг

Рi,0,к!ор f. С. нинкина Гскре !,1. В. Куклина Копрек!гр Т. Л. Ум;!!!еи

11зд, . .а 82 3!!кав 206, 0 1 ираж ЬО Подписиое

1111И11Г1к1 Комитета по делам изооретеиий и откр!!ги!! при Совете Мииистров СССР

Москва, )K-во, Раугискаи иа!к, д. 4, 5 1 ииографi!ii, 1|ð. Càïóllов», 2 лочки прибора, как это наблюдается при известных способах обработки в связи с турбулентностью откачиваемого из прибора газового потока, одновременно с возбуждением газового разряда оболочка прибора облуча ется ультразвуковой энергией с плотностью, достаточной для удаления адсорбированных веществ, Предлагаемый способ позволяет снизить удельную загрязненность внутри прибора до десятых и даже сотых долей нкг crlL-.

Способ совмещенной ультразвуковой и ионной обработки особенно успешно может !11,!т1

Г1римепсн при изготовлении электровакуi> !!1пых и газоразрядных приборов, в технологии изготовления которых отсутствует операция обезгаживания стеклянной оболочки пу1ем прогрева прибора под печью.

5 Предмет изобретения

Способ обработки электровакуумных и галоразрядных приборов путем конной б:>мбард!1ровки внутриламповых деталей в газовом раз

10 ряде, которая происходит при непрерызп,1м изменении давления в приборе, отли»аюи1!сйсл! тем, что, с целью ликвидации переноса загр11зне!11ий на впутрепн1ою поверхность эб ;1»чкп прибора, последнюю облучают уль1ра1ьуком

15 одновременно с возбуждением газ!эзо1i) 1 ;азряда.