Чувствительный элемент датчика давления
290163
ОПИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Вониалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
МПК С 01b 7/16
УДК 621.083.8:531. .787.913 (088.8) Заявлено 25.Ч1.1969 (№ 1346?34/25-28) с присоединением заявки №
Приоритет
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Опубликовано 22.Х11.1970. Бюллетень № 2 за 1971
Дата опубликования описания 12.П.1971
Авторы изобретения
И. К. Бронштейн, А. Я. Нашельский, В. Н. Кузьмин, E. В. Синицин и Ю. В. Сокуренко
Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности
Заявитель
ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ повышение характериИзобретение относится к классу чувствительных элементов для датчиков давления и может быть использовано при создании приборов.
Известны чувствительные элементы для тензодатчиков из монокристаллического кремния, германия, карбида кремния и других элементов.
Общим недостатком всех этих чувствительных элементов, за исключением карбида кремния, является незначительный верхний температурный рабочий предел.
Целью изобретения является чувствительности и стабильности стик чувствительного элемента.
Это достигается выполнением чувствительного элемента в виде параллелепипеда из монокристалла фосфида галлия.
На чертеже дап график нагрузочной характеристики тензочувствительного элемента на основе фосфида галлия.
Результаты испытаний, проведенных в институте Гиредмет, показывают, что тензочувствительные элементы из фосфида галлия изменяют свое сопротивление под воздействием растяжения. Изменения сопротивления при этом линейны (см. чертеж), не имеют гистереl0 зиса и стабильны после многократного нагружения. Величина коэффициента тензочувствигельности равна 40.
Предмет изобретения
15 Чувствительный элемент датчика давления из фосфида галлия, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и стабильности его характеристик, он выполнен в виде параллелепипеда из монокристалла фос20 фида галлия.
290163
Составитель И. Федеров
Редактор Л. Г. Герасимова Текред А. А. Камышникова Корректор Л. А. Царькова
Изд. № 135 Заказ 243(9 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Я(-35, Раушская наб., д. 4j5 1ипография, пр. Сапунова, 2
